2005-11-15
org.kosen.entty.User@24f1c968
고정애(hussy323)
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DLC가 전극으로 응용되는 예와 어떻게 전극으로 사용될수 있는지에 대한 그 원리와
일반전극과의 차이에 대한 자료를 좀 얻을수 있을까요??
- hussy323
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답변 2
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답변
이현준님의 답변
2005-11-15- 0
아래 내용, 사이트, 첨부파일을 참조하시길 바랍니다. 다이아몬드상 카본 필름의 전기적 응용 본 재료는 기계부품의 내마모 보호코팅 혹은 광학코팅으로의 응용이 활발한 반면 전자분야에서의 응용연구는 상대적으로 미약하다. 이 이유로는 doping의 효과가 현저하게 나타나지 않고 그 구조가 잘 알려져 있지 않기 때문인 것으로 생각된다. 전자분야에서의 응용으로는 nanolithogarphic resist의 mask 재료나 metal-insulator-semiconductor(MIS) device의 insulating gate로의 응용정도를 들 수 있다. 그러나, 최근에 다이아몬드상 카본 필름을 filed emission device의 cathode 재료로 활용하고자 하는 연구가 매우 활발히 진행되고 있다. 지금까지 음극재료로는 Mo, W같은 metal tip이나 Si tip 등이 사용되어져 왔다. 그러나 이러한 재료는 전자의 emission을 위해 gate가 필요한 triode 형태를 가지고 있어서 제작이 어려우며, tip 선단의 곡률이 전기장의 크기를 좌우하므로 매우 큰 곡률이 유지되어야 하는 등의 장애요인이 있다. 이러한 문제는 tip 제작의 공정에 있어 많은 어려움을 준다. 그러나 다이아몬드상 카본 필름을 사용하면 평면의 cathode를 이용할 수 있고, 전자 emission을 위한 임계전압이 작아 diode 형태의 device를 제작할 수 있는 등 여러 장점을 가지고 있다. 이러한 응용은 다이아몬드상 카본 필름이 기본적으로 가지고 있는 음의 전자 친화도 때문에 가능하다. ---------------------------------------------------- http://drm.kist.re.kr/DLC/research/dlc/dlcbasic/dlcbasic.htm http://suny.yonsei.ac.kr/%7Edevice/dlc.htm http://drm.kist.re.kr/DLC/research/application.html >DLC가 전극으로 응용되는 예와 어떻게 전극으로 사용될수 있는지에 대한 그 원리와 >일반전극과의 차이에 대한 자료를 좀 얻을수 있을까요?? -
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김진철님의 답변
2005-11-16- 0
>DLC가 전극으로 응용되는 예와 어떻게 전극으로 사용될수 있는지에 대한 그 원리와 >일반전극과의 차이에 대한 자료를 좀 얻을수 있을까요?? 질문과는 조금차이가 있습니다만 참고하시라고 드립니다. 금속에 내마모성이나 경도를 증가시키고자 한다면 Ion implanting 법도 좋거든요. 아직은 기체성 즉, 질소의 이온화로 가속주입하면 되는데 코티과는 성격이 달라서 치수 변화가 없다는 점이며 모재의 조직속에 주입되는 법입니다. 저는 포리머에 주입을 개발하여 수년째 양산하여 제품화하고 있습니다. 참고하세요.