2006-01-11
org.kosen.entty.User@1314e921
한희(hanheekr)
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금속배선 형성시 스핀코팅후 포토공정으로 배선형성하는 자료 있으시면 부탁드립니다.
photoresist 사용하지 않고요~
- Spin on metal
- photo
- metal
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
박상언님의 답변
2006-01-13- 0
>금속배선 형성시 스핀코팅후 포토공정으로 배선형성하는 자료 있으시면 부탁드립니다. >photoresist 사용하지 않고요~ 스핀코팅후 포토공정에서 photoresist를 사용하는 것이 대부분입니다. 요구하신 자료를 찾아보았지만 질화막에 관한 특허 또는 구리배선 형성에 관한 특허자료가 있어 보내드립니다. 참조가 미흡하다고 생각되지만 관련 특허 검색을 시도해보시면 쉽게 접근이 가능하지 않을까 생각됩니다. 직접 특허 검색에서 관련 자료를 선택하시는 것도 현명하리라 생각됩니다. 스핀코팅관련 자료가 너무 많아서 다 못 올리는 점 양해바랍니다.