2006-02-07
org.kosen.entty.User@70b0a97c
김일태(itkimbrian)
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안녕하세요?
Microfluidics 실험관련하여 Glass로 된 Microchannel을 제작을 고려하고 있습니다. 제작 전반에
대하여 참고자료라든지 좋은 의견 있으시면 조언 부탁드립니다.
- glass
- microchannel
- fabrication
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
손영수님의 답변
2006-02-14- 0
>안녕하세요? > >Microfluidics 실험관련하여 Glass로 된 Microchannel을 제작을 고려하고 있습니다. 제작 전반에 > >대하여 참고자료라든지 좋은 의견 있으시면 조언 부탁드립니다. > 얼마정도의 깊이를 가진 Channel을 만들고 싶은지 잘 모르겠습니다만 보통 유리 시각은 HF로 하며 이때 Pattern 형성을 위해서는 Mask layer deposition과 Photolithography를 해야 됩니다... 보통 Mask Layer는 Au를 사용하며 Glass와의 접촉을 좋게하기 위해 Glass와 Au사이에 Cr을 Deposition 합니다... -
답변
장우진님의 답변
2006-02-14- 0
>안녕하세요? > >Microfluidics 실험관련하여 Glass로 된 Microchannel을 제작을 고려하고 있습니다. 제작 전반에 > >대하여 참고자료라든지 좋은 의견 있으시면 조언 부탁드립니다. > 안녕하세요. 반드시 glass로 제작하셔야 하는지 모르겠습니다만, glass의 경우 microchannel을 만들기 위해서 photolithography 법을 사용하셔야 합니다. 그러려면 청정실에서 mask, mask aligner, etcher 등의 장비가 필요한데요. Chemical etching을 하신다면, HF를 쓸텐데, 독성이 강하여 상당한 주의가 필요합니다. 경험이 없으시다면, 이러한 작업을 하시는데만도 많은 몇 개월 정도가 필요할 것입니다. 따라서 빠른 작업을 위해서는 청정실을 갖추고 lithography를 하고 있는 전자과 분들에게 부탁하는 것이 제일 좋을듯 합니다. Glass에 microchannel을 빨리 제작하기 위해서 polymer 재질에 microchannel을 제작한 후 이것을 이용하기도 하는데요(첨부한 화일을 참고해 주세요), 이런 경우에도 polymer 재질에 microchannel을 제작하기 위해서 photolithography 공정을 거쳐야 합니다. 물론 고해상도가 필요하지 않고 microchannel의 크기가 수백 마이크론 정도라면, 좀 더 빨리 제작할 수 있는 방법도 몇 가지 제시된 바 있긴 합니다만, 정밀한 연구를 위해서는 추천할만한 방법은 아니라고 봅니다. 현재 한양대 안산의 마이크로 바이오칩 센터 (http://www.microbiochip.com)에 문의하시면 더 많은 도움을 받으실 수 있을 것으로 생각합니다. 도움이 되셨기를 바랍니다. -
답변
정옥찬님의 답변
2006-02-14- 0
>안녕하세요? > >Microfluidics 실험관련하여 Glass로 된 Microchannel을 제작을 고려하고 있습니다. 제작 전반에 > >대하여 참고자료라든지 좋은 의견 있으시면 조언 부탁드립니다. > 습식으로 할려면 좀 고생을 감수해야 됩니다. 크롬위에 골드를 증착해서 하는 사람들도 있으나, 결국 HF에 오래 견디지 못합니다. 식각 깊이가 얼마나 깊은지 모르겠으나, 얕은 식각인 경우에는 좋겠고, 깊은 식각인 경우에 저는 앞에 말한 금속에 SU8을 다시 패터닝을 합니다. SU8은 유리가 구멍이 날때까지 견디죠.. 건식인 경우에는 이미 서울대에서 서비스를 하는 것으로 알고 있습니다. 서울대 쪽으로 알아 보시는 것이 좋을 듯 합니다. 그쪽 공정 고수들이 조건을 잡았고, 그걸 서비스 한다니까요.. 건강과 안전을 위해서 외부에 의뢰하세요..