2006-02-08
org.kosen.entty.User@1290df57
박종호(plasmapark)
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플라즈마 전공하는 사람인데요...플라즈마를 이용하여 에칭하는 방법에 대한 논문을
구합니다. 고수님들 부탁드려요
- plasma
- etching
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 2
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답변
임석묵님의 답변
2006-02-09- 0
>플라즈마 전공하는 사람인데요...플라즈마를 이용하여 에칭하는 방법에 대한 논문을 >구합니다. 고수님들 부탁드려요 첨부 확인,참조 하세요 -
답변
***님의 답변
2006-05-14- 0
>플라즈마 전공하는 사람인데요...플라즈마를 이용하여 에칭하는 방법에 대한 논문을 >구합니다. 고수님들 부탁드려요 고분자개질은 이 참고 문헌들을 보세요. E.M. Liston, L. Martinu, M.R. Wertheimer, in: M. Strobel, C.S. Lyons, K.L. Mittal (Eds.), Plasma Surface Modification of Polymers: Relevance to Adhesion, VSB, The Netherlands, 1994, pp. 3–39. M. Collaud, P. Groening, S. Nowak, L. Schlapbach, in: K.L. Mittal (Ed.), Polymer Surface Modification: Relevance to Adhesion, VSP, The Netherlands, 1995, pp. 87–99. L.J. Gerenser, J. Vac. Sci. Technol., A 6 (1988) 2897– 2903.