2006-03-09
org.kosen.entty.User@48bf3b00
오동현(dream91)
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spin coater의 rpm과 코팅할 고분자용액으로 제조한 박막의 두께에 대한 상관관계를 알고 싶습니다.
관련된 관계식이 있으면 알려주세요..
- spin coater
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답변 2
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답변
박혜정님의 답변
2006-03-10- 0
>spin coater의 rpm과 코팅할 고분자용액으로 제조한 박막의 두께에 대한 상관관계를 알고 싶습니다. > >관련된 관계식이 있으면 알려주세요.. 코팅할 고분자 용액으로 대표적인 것이 PR 있는데요. 보통 PR을 구입하면 해당 PR에 대한 메뉴얼이 따라 나와서 메뉴얼을 참고하셔서 사용하시면 됩니다. 요즘은 PR외에도 Teflon 및 chemical solution을 spin coating으로 많이 coating 하고있구요. PR의 경우(AZ PR)를 예로 들면 30~60초 동안 1000~5000rpm으로 스핀 코팅하면 0.5~2.5um 두께로 코팅됩니다. PR의 actual thickness는 그것의 점성도에 의존하고, spinning speed의 square root에 반비례 한것으로 알려져 있습니다. -
답변
김도형님의 답변
2006-03-10- 0
>spin coater의 rpm과 코팅할 고분자용액으로 제조한 박막의 두께에 대한 상관관계를 알고 싶습니다. > >관련된 관계식이 있으면 알려주세요.. 코팅기의 회전 속도와 고분자 용액의 두께 관계는 고분자 용액의 종류, 희석 비율 등에 따라 모두 다릅니다. 위에 분이 말씀하신대로 고분자 용액을 구입하시면 첨부되는 메뉴얼에 해당 관계가 나와 있습니다. 때에 따라 이것이 맞지 않는 경우가 있는데 이 때는 회전 속도를 달리하여 직접 측정을 한 뒤 관계를 산출하시면 됩니다. 참고로 PMMA의 회전속도에 따른 두께 관계의 예를 첨부합니다. MicroChem社의 물질이며, 저 같은 경우는 저희 환경에서 물질제조회사가 제공한 관계식이 맞지 않아 회전 속도에 따른 두께를 직접 측정하여 저희 사정에 맞는 관계식을 도출하여 사용하고 있습니다. 두께의 측정은 타원기(Ellipsometer)를 사용하였습니다.