2006-04-20
org.kosen.entty.User@544b9b2a
강주현(loverduck)
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막상을 자료를 찾을려고 하니깐 자료가 없어서 이렇게 도움을 요청합니다.
유리 기판위에 스퍼터링을 이용하여 박막을 증착하는데 박막의 반사율을 어떻게 조절할 수 있는 방법이 없나요?
관련 자료나 알고 있는 사이트있으면 좀 알려주세요
좀더 자세하게 말씀드리면 박막을 올리는데 반응성 가스로 산소를 써서 반사율을 낮춘
다거나 아님 막의 굴절율을 연속적으로 변화시켜서 반사율을 조절하는 걸로 알 고 있
습니다.
이러한 방법이 좀 자세하게 설명된 자료나 이외의 다른 방법있으면 알려주시기 바랍니
다.
꼭 도와주세요..
- thin-film
- reflectance
- sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
고상운님의 답변
2006-04-20- 0
>막상을 자료를 찾을려고 하니깐 자료가 없어서 이렇게 도움을 요청합니다. > >유리 기판위에 스퍼터링을 이용하여 박막을 증착하는데 박막의 반사율을 어떻게 조절할 수 있는 방법이 없나요? > >관련 자료나 알고 있는 사이트있으면 좀 알려주세요 > >좀더 자세하게 말씀드리면 박막을 올리는데 반응성 가스로 산소를 써서 반사율을 낮춘 > >다거나 아님 막의 굴절율을 연속적으로 변화시켜서 반사율을 조절하는 걸로 알 고 있 > >습니다. > >이러한 방법이 좀 자세하게 설명된 자료나 이외의 다른 방법있으면 알려주시기 바랍니 > >다. > >꼭 도와주세요.. 박막의 반사율을 줄이는 방법은 유리위에 굴절율이 낮은 물질로 스퍼터링을 하고 그 위에 굴절율이 높은 재질로 스퍼터링을 합니다. 결과적으로 복층으로 합니다.