2006-07-18
org.kosen.entty.User@44c5868f
이주원(conundrums)
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안녕하십니까? 저는 현재 금형강의 수명향상을 위해 CrN 코팅을 적용하여 이 문제를 해결하려고 하는 PVD에 많이도 무지한 학생입니다...
본론부터 말씀드리면 제가 STAVAX 재에 UBM Source를 이용하여 질소함량과 시간만을 조절하여 CrN 코팅을 해보니 질소량이 많아지면서 CR2N에서 CrN으로 성막이 변화하는 걸 알게되었습니다...그리고 CrN은 <200>에서
<111>으로 발달하였습니다.
이후 궁금한것이 있어 이렇게 글을 올립니다
1.<111>, <200> CrN중에 <200>의 경도가 높은 데 밀착력은 떨어지는 이유
2. 질소 분압이 높은 상태에서 왜 <111>면이 발달하는 지
3. 왜 CrN보다 Cr2N이 경도가 더 높은 지
4.그리고 <111> Coating이 Superlattice로 확인되었는 데 왜 이렇게 되었는 지
궁금합니다.. interlayer Cr층이 이런 역활을 할 수 있는 지 의문입니다
이 네가지 부분에 너무 막혀 이렇게 여쭤보게 되었습니다...
좋은 가르침 부탁드립니다...관련된 논문도 좋습니다
감사합니다
- CrN Coating
- sputter
- hardness
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
박장식님의 답변
2006-07-26- 0
>안녕하십니까? 저는 현재 금형강의 수명향상을 위해 CrN 코팅을 적용하여 이 문제를 해결하려고 하는 PVD에 많이도 무지한 학생입니다... > >본론부터 말씀드리면 제가 STAVAX 재에 UBM Source를 이용하여 질소함량과 시간만을 조절하여 CrN 코팅을 해보니 질소량이 많아지면서 CR2N에서 CrN으로 성막이 변화하는 걸 알게되었습니다...그리고 CrN은 <200>에서 ><111>으로 발달하였습니다. > >이후 궁금한것이 있어 이렇게 글을 올립니다 > >1.<111>, <200> CrN중에 <200>의 경도가 높은 데 밀착력은 떨어지는 이유 > >2. 질소 분압이 높은 상태에서 왜 <111>면이 발달하는 지 > >3. 왜 CrN보다 Cr2N이 경도가 더 높은 지 > >4.그리고 <111> Coating이 Superlattice로 확인되었는 데 왜 이렇게 되었는 지 >궁금합니다.. interlayer Cr층이 이런 역활을 할 수 있는 지 의문입니다 > >이 네가지 부분에 너무 막혀 이렇게 여쭤보게 되었습니다... > >좋은 가르침 부탁드립니다...관련된 논문도 좋습니다 > >감사합니다 CrN 에 대해서는 실험을 해 보지 않았지만 많은 논문과 보고가 있으며 1, 3 항목에 대해서는 아래와 같은 것이 요인이 될 수 있을 것으로 생각됩니다. 1. 박막의 경도가 높은 것은 박막 자체의 결정적인 성장이 치밀하며 화학적으로 결합이 안정적인 것이 요인이라고 생각됩니다. 그러나 박막자제가 스트레스(Stress)가 크면 기판과의 밀착력이 떨어져서 탈막현상이 발생하며 이것을 방지하기 위해서는 성막조건을 조정하여 스트레스를 감소할 수 있는 방안을 찾아야 할 것으로 생각됩니다. 3. 여러가지 요인이 있게지만 Cr2N 은 낮은 질소압력에서 박막이 형성이 됨으로 성막의 방전전압이 높아서 기판에 부착하는 박막의 입자들이 높은 에너지를 가지므로 형성되는 박막의 결정이 경도가 높을 것으로 생각됩니다. > > >