2006-08-05
org.kosen.entty.User@19d25633
조주웅(afkll)
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EDS에 대한 궁금한 점입니다.
도움을 부탁드립니다..
1. 기본 측정방법 및 원리 (자료 및 site)
2. 측정할 수 있는 곳
3. data 해석방법
4. 아래 물질의 EDS standard Spectrum
- aluminum
- aluminum Fluoride
- aluminum oxide
- aluminum nitride
- oxygen
- carbon
- EDS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
황영규님의 답변
2006-08-22- 0
EDX - Energy Dispersive X-ray Analysis or EPMA - Electron Probe Micro Analysis 는 bulk 물질의 원소분석을 할 수 있는 표면분석장비로서, 오차범위는 장비에 따라 조금씩 다르지만, 대략 5-10% 정도를 고려하시면 됩니다. 간단하게 설명드리면, 가속된 전자빔을 시편에 주사 할 때 발생되는 2차전자, 후방산란전자, X선 등을 이용하여 성분을 할 수 있는 장비로서,아래 site에 가시면 보다 많은 정보를 얻을 수 있을 것입니다. www.uksaf.org/tech/edx.html www.siliconfareast.com/edxwdx.htm 일반적인 data해석 방법 및 측정 샘플처리 방법은 측정하는 곳에 물의시면 잘 알수 있을 것이며, 국내에서서 한국기초과학지원연구원이나 각 대학교의 공동시험원에 가시면 쉽게 측정할 수 있을 것입니다. -End- > > >EDS에 대한 궁금한 점입니다. >도움을 부탁드립니다.. > >1. 기본 측정방법 및 원리 (자료 및 site) >2. 측정할 수 있는 곳 >3. data 해석방법 >4. 아래 물질의 EDS standard Spectrum >- aluminum >- aluminum Fluoride >- aluminum oxide >- aluminum nitride >- oxygen >- carbon > > > > > > >