2006-09-19
org.kosen.entty.User@4d186b2c
신순철(sunfe)
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fccl을 제조하기 위해 스퍼터링을 하는데, 동 스퍼터링하기전 접착강도를 높이기 위해
전처리 스퍼터링을 합니다.
그런데 일본 스미또모 특허가 있다고합니다.
이를 회피하는 스퍼터링 타겟을 생산하는 업체가 없을까요?
- fccl target
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
고상운님의 답변
2006-10-01- 0
>fccl을 제조하기 위해 스퍼터링을 하는데, 동 스퍼터링하기전 접착강도를 높이기 위해 >전처리 스퍼터링을 합니다. >그런데 일본 스미또모 특허가 있다고합니다. >이를 회피하는 스퍼터링 타겟을 생산하는 업체가 없을까요? 이 부분의 전문 연구원을 소개합니다. 일본에서 타겟을 발주한 경험이 있으므로 도움이 될 것입니다. 연구원명: 김 태은 이메일주소: tekim@jahwa.co.kr