2006-09-26
org.kosen.entty.User@1a47219e
김양수(dlinka)
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반도체, LCD 제조용 진공챔버에서 가동하는 진공로봇 구동부의
대기압-진공챔버간 sealing 방법을 알고 싶읍니다.
자성유체seal, 차압seal등을 사용한다고 대략 알고 있는데,
이에 대한 자세한 내용을 알고 싶읍니다.
- vacuum robot
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답변 2
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답변
정원희님의 답변
2006-09-28- 0
진공챔버내에서 작업하는 로봇의 구동부가 챔버벽면을 관통하여 구동력을 전달하게 되나요? 아니면, 로봇 전체를 챔버내에 넣게 되나요? 1. 챔버벽면을 관통하여 구동력을 전달하는 경우 현재는 자성유체 Sealing방법이 가장 효율적인 것으로 알고 있습니다.차압Sealing은 구동부의 지속적인 운동에 의해 반도체 장비를 제조하기 위한 진공도(대략 10e-4 Torr정도?) 유지가 쉽지 않을 것입니다. 또한 자성유체 Sealing 방법도 챔버내 온도가 약 100도씨이상되면 Seal의 손상이 있을 수 있습니다. Seal의 냉각을 위한 장비도 생각해 주셔야 하구요. 2. 챔버내에 로봇 전체 장착하는 경우 가장 간단하고 확실한 방법으로써 챔버벽면에 전선컨넥터만 Sealing만 잘해서 부착함으로써 진동, 챔버내 온도에 따른 영향을 전혀 받질 않죠. 답변이 되셨는지 모르겠습니다. 더 좋은 자료가 있으면 다시 답변을 드릴께요. -
답변
김진철님의 답변
2006-11-01- 0
>반도체, LCD 제조용 진공챔버에서 가동하는 진공로봇 구동부의 >대기압-진공챔버간 sealing 방법을 알고 싶읍니다. >자성유체seal, 차압seal등을 사용한다고 대략 알고 있는데, >이에 대한 자세한 내용을 알고 싶읍니다. 자성 유체 씰은 주로 회전부에 이용하니까 10e-6 torr 까지 사용하는데 이상 없었습니다. 다만 초고진공에서 유연성을 잃지 않고 이용되는건 Welded Bellows 가 최상 일겁니다. 우주선에서 이용하거나 우주복은 이걸 많이 이용하는 것으로 알며 미국의 bellows 전문 회사 web에서도 잘 나와있습니다.