2006-10-11
org.kosen.entty.User@33fe7581
이선화(shleekku)
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FE-SEM과 SEM의 원리가 크게 다른가요?
인터넷에 검색해보니까 SEM에 대해서는 자료가 많이 있는 편인데,
FE-SEM에 대해서는 별로 없네요.
인터넷에서 찾은 SEM에 대한 설명중에 [열전자총대신에 Field Emmission(FE) 전자총을 장착한 FE-SEM은 1.5nm이하의 고 분해능으로 고화질의 화상을 얻을 수 있기 때문에 형상관찰에 폭넓게 이용되고 있다] 라는 설명을 찾았는데,
그러면.. SEM과 FE-SEM이 원리는 같고 전자가 방출되는 것만 다른건가요?
자세한 설명 부탁드립니다.
제가 FE-SEM에 대해서 교육을 받아야 하기 때문에
공부를 해야하거든요.
파일로 정리 된 자료 있으면 부탁드립니다.
- SEM
- FE-SEM
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답변 1
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답변
황병철님의 답변
2006-10-12- 0
>FE-SEM과 SEM의 원리가 크게 다른가요? > >인터넷에 검색해보니까 SEM에 대해서는 자료가 많이 있는 편인데, > >FE-SEM에 대해서는 별로 없네요. > >인터넷에서 찾은 SEM에 대한 설명중에 [열전자총대신에 Field Emmission(FE) 전자총을 장착한 FE-SEM은 1.5nm이하의 고 분해능으로 고화질의 화상을 얻을 수 있기 때문에 형상관찰에 폭넓게 이용되고 있다] 라는 설명을 찾았는데, > >그러면.. SEM과 FE-SEM이 원리는 같고 전자가 방출되는 것만 다른건가요? > >자세한 설명 부탁드립니다. > >제가 FE-SEM에 대해서 교육을 받아야 하기 때문에 > >공부를 해야하거든요. > >파일로 정리 된 자료 있으면 부탁드립니다. > 네, 알고계신대로 전자를 방출하는 방식만 다르고 원리는 같습니다. 참고로 전자를 방출하는 전자총을 정리한 파일자료를 첨부합니다.