2006-10-19
org.kosen.entty.User@1dcfddc3
김형섭(gtool77)
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RF를 사용해서 스퍼터링을 했습니다. 그런데 RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. 물론 RF건에 덮개까지 했는데요...스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까???
아무튼 덮개를 했는데도 불구하고 덮개의 밖으로까지 플라즈마가 생길수 가 있는건가요??? 그것때문에 건의 옆면까지 손상이 생긴 것 같습니다.
건에 어떤 문제가 있는건가요??? 고수님들의 답변 기다리겠습니다...^^
- sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
고상운님의 답변
2006-10-20- 0
>RF를 사용해서 스퍼터링을 했습니다. 그런데 RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. 물론 RF건에 덮개까지 했는데요...스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까??? >아무튼 덮개를 했는데도 불구하고 덮개의 밖으로까지 플라즈마가 생길수 가 있는건가요??? 그것때문에 건의 옆면까지 손상이 생긴 것 같습니다. >건에 어떤 문제가 있는건가요??? 고수님들의 답변 기다리겠습니다...^^ 스퍼터를 직접 제작한 경험이 있는 분을 소개해 드릴게요. 상세히 설명해 줄겁니다. 이 분야에서는 대가입니다. 회사명: 팬시스템 대표: 박 종호사장 전화번호: 019-9141-4429 -
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조주웅님의 답변
2006-10-20- 0
>RF를 사용해서 스퍼터링을 했습니다. 그런데 RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. 물론 RF건에 덮개까지 했는데요...스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까??? >아무튼 덮개를 했는데도 불구하고 덮개의 밖으로까지 플라즈마가 생길수 가 있는건가요??? 그것때문에 건의 옆면까지 손상이 생긴 것 같습니다. >건에 어떤 문제가 있는건가요??? 고수님들의 답변 기다리겠습니다...^^ RF건에 덮개까지 했는데요...RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. -> RF건 덮게 재질의 유전율값을 조사해 보시기 바랍니다. 금속이라면, RF주파수 전파영역이 RF건 덮개에 영향을 미치어, RF건 덮게가 anode 역할을 하는 것으로 사료됩니다. RF건과 타켓의 거리를 좀 더 이격시키거나, RF건 덮게 절연시키는 방법을 강구하면, 문제가 발생되지 않을 것이라 사료됩니다. 물론 스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까??? -> 타켓에서 발생된 플라즈마가 RF건 덮게로 흘러들어왔다고 사료됩니다. 진공챔버 내벽에서 발생되는 현상과 비슷한 것이라고 유추됩니다. -
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박장식님의 답변
2006-10-23- 0
>RF를 사용해서 스퍼터링을 했습니다. 그런데 RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. 물론 RF건에 덮개까지 했는데요...스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까??? >아무튼 덮개를 했는데도 불구하고 덮개의 밖으로까지 플라즈마가 생길수 가 있는건가요??? 그것때문에 건의 옆면까지 손상이 생긴 것 같습니다. >건에 어떤 문제가 있는건가요??? 고수님들의 답변 기다리겠습니다...^^ 수고가 많이십니다. RF 방번은 DC 방전에 비해서 방전이 방전의 넓은 공간까지 퍼져나갑니다. 퍼져나가는 것은 RF방전의 고유특성상 방전공간에서 시간에 따라 방전전압폭이 변하는 요인이 작용하기 때문입니다. 질문하신 것은 이것과는 다른 현상이라 생각합니다. 실딩된 옆부분에 코팅이 된다는 것이지요. 이 원인으로는 자기회로(마그네트로 구성된 부분)에서 발생하는 자기장이 실딩된 다른영역에 플라즈마가 발생되어서 방전발생으로 성막이 된 것으로 생각됩니다. 이것을 방지하기 위해서는 무엇보다도 다음의 것을 확인해 보셔야 하지 않을까 생각됩니다. 첫째는 RF매칭이 잘 되었는지. 둘째는 자기장이 실딩밖으로 발생이 되어서 방전이 일어나지 않는지 에 대한 것입니다. 제가 부족한 상상력으로 추측한 것이 맞는지 확인해 주시기 바합니다. -
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황학인님의 답변
2006-10-29- 0
>RF를 사용해서 스퍼터링을 했습니다. 그런데 RF건의 옆면까지 플라즈마가 번지는 문제점이 생겼습니다. 물론 RF건에 덮개까지 했는데요...스터퍼를하면 타켓에서 프라즈마가 흘러넘치는 느낌이라고할까??? >아무튼 덮개를 했는데도 불구하고 덮개의 밖으로까지 플라즈마가 생길수 가 있는건가요??? 그것때문에 건의 옆면까지 손상이 생긴 것 같습니다. >건에 어떤 문제가 있는건가요??? 고수님들의 답변 기다리겠습니다...^^ -플라즈마가 번지는 이유는 전계가 타겟에 집중이되지 않고 주변으로 번지는 이유입니다 원인은: 타겟물질이 옆에 코팅되어 절연이 안되는 경우가 대부분이고 이런현상은 냉각수가 온도관리가 안되어 타겟의 온도가 올라가 절연이 떨어지는 이유,냉각수에 철분이 타겟밑에 많이끼어 있는경우, 챔버내부가 청소가 안되어 이 물질이 실드판과 타겟 주변에 많이 끼어 잇는 경우,혹,마그네틱 쉴드가 잘 조립이 안되어 있는 경우등 여러가지 입니다. 조치 순서는 1. 내부 청소9샌드블러스터로 실드 표면을 잘 청소 2. 타겟의 절연정도 검사 3. 마그네트의 자기장분포 점검(마그네트 상태 조사) 4. 냉각수라인 오염및 내부 스케일일 제거 5. 타겟의 절연체 교체 5. RF 매칭점검 등 입니다.