2006-10-30
org.kosen.entty.User@4910b676
이성현(hlksu)
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대기압 플라즈마를 쓰려고 하는데...
사용하는 Gas를 Ar로 할지 N2 로 할지 결정을 하지 못하고 있습니다.
가능하면 온도가 높은 것을 쓰고 싶은데 어떻게 해야 할런지..
플라즈마는 대충 그런게 있구나 라고 알고있던지라.. 난감합니다.
그리고 대기압 플라즈마 만들때 꼭 한가지 gas만 사용해야 하나요?
혼합하면 안되나요? 예를 들면 질소에 산소를 혼합하거나
아르곤에 다른것을 혼합한다던지...
마지막으로 대기압 플라즈마는 그냥 공기를 사용해도 플라즈마 발생이
가능하다는데 그런건 어떻게 해야하나요?
그리고 플라즈마 관련서적 좀 추천도 해주세요.
더 구체적으로는 대기압 플라즈마로 추천해주시면 고맙겠습니다.
플라즈마가 물리학에 많이 관련된 것으로 아는데..
화학적인 관점에서 서술해 놓은 책이 있었으면 좋겠네요..
개념 탑재를 좀 하고 일을 해야 할거 같아서... ^^
플라즈마 알것 같기도 하면서 모르겠고 참 아리송하네요.
- plasma
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
조주웅님의 답변
2006-10-31- 0
>대기압 플라즈마를 쓰려고 하는데... >사용하는 Gas를 Ar로 할지 N2 로 할지 결정을 하지 못하고 있습니다. >가능하면 온도가 높은 것을 쓰고 싶은데 어떻게 해야 할런지.. >플라즈마는 대충 그런게 있구나 라고 알고있던지라.. 난감합니다. > >그리고 대기압 플라즈마 만들때 꼭 한가지 gas만 사용해야 하나요? >혼합하면 안되나요? 예를 들면 질소에 산소를 혼합하거나 >아르곤에 다른것을 혼합한다던지... > >마지막으로 대기압 플라즈마는 그냥 공기를 사용해도 플라즈마 발생이 >가능하다는데 그런건 어떻게 해야하나요? > >그리고 플라즈마 관련서적 좀 추천도 해주세요. >더 구체적으로는 대기압 플라즈마로 추천해주시면 고맙겠습니다. >플라즈마가 물리학에 많이 관련된 것으로 아는데.. >화학적인 관점에서 서술해 놓은 책이 있었으면 좋겠네요.. >개념 탑재를 좀 하고 일을 해야 할거 같아서... ^^ > >플라즈마 알것 같기도 하면서 모르겠고 참 아리송하네요. 사용하는 Gas를 Ar로 할지 N2 로 할지 결정을 하지 못하고 있습니다. 가능하면 온도가 높은 것을 쓰고 싶은데 어떻게 해야 할런지.. -> gas는 Paschen curve와 Ignition Voltage에 의해 결정됩니다. 그리고, 대기압에서 온도는 gas보다는 전극구조에 의한 변수입니다. 가스와 온도는 전극구조에 따라 선택하시기 바랍니다. 그리고 대기압 플라즈마 만들때 꼭 한가지 gas만 사용해야 하나요? 혼합하면 안되나요? 예를 들면 질소에 산소를 혼합하거나 -> 혼합 가능합니다. 주로 비활성기체에 산소를 첨가하여, 산화분위기를 형성합니다. 마지막으로 대기압 플라즈마는 그냥 공기를 사용해도 플라즈마 발생이 가능하다는데 그런건 어떻게 해야하나요? -> 가능합니다. 전극구조에 의해 가능하며, DC Glow discharge 용어로 사용됩니다. Paschen공식에 의한 전극거리와 기체와의 함수로 표현됩니다. 그리고 플라즈마 관련서적 좀 추천도 해주세요. -> 국내외 서적 2권을 첨부하였습니다. 참조하시기 바랍니다. -
위에 덧붙여서 설명을 드리고자 합니다. 플라즈마는 연구자와 연구분야에 따라서 아래와 같이 여러가지 방식으로 분류를 합니다. * 온도에 따라서 초고온 플라즈마, 고온(열) 플라즈마, 저온 플라즈마 * 압력에 따라서 고압 플라즈마, 대기압 플라즈마, 저압 플라즈마 * 플라즈마 발생 방식에 따라서 직류, 교류, 고주파, 마이크로웨이브 플라즈마로 분류되고, 직류 방식도 세부적으로 저온플라즈마(glow discharge, surface discharge, dielectric barrier discharge 등); 열플라즈마(non-transferred plasma, transferred arc plasma) 등으로 복잡하게 분류가 되고 있습니다. 저온 플라즈마에 대해서 일반적으로 반도체 공정에서는 저압에서 적용을 하고, 환경처리(VOCs 처리 등) 등의 공정에서는 대기압에서 적용을 합니다. 열플라즈마의 경우에는 대부분 대기압 플라즈마에서 작동을 시키며, 중심온도(비이송식의 경우 12,000도 가량, 이송식의 경우 16,000도 가량, 고주파의 경우 10,000도 가량)가 매우 높습니다. 플라즈마 발생가스로는 Ar, He, N2와 같은 불활성, 비활성 가스를 사용하며, 공정에 따라서 O2, H2, CO2 등을 혼합한 반응성 플라즈마를 적용하기도 합니다. 열플라즈마의 기초 및 공정 응용 관련된 국내 서적으로는 '열플라즈마 공정과 응용', '플라즈마 금속학' 등을 참고하세요.
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답변
고상운님의 답변
2006-10-31- 0
>대기압 플라즈마를 쓰려고 하는데... >사용하는 Gas를 Ar로 할지 N2 로 할지 결정을 하지 못하고 있습니다. >가능하면 온도가 높은 것을 쓰고 싶은데 어떻게 해야 할런지.. >플라즈마는 대충 그런게 있구나 라고 알고있던지라.. 난감합니다. > >그리고 대기압 플라즈마 만들때 꼭 한가지 gas만 사용해야 하나요? >혼합하면 안되나요? 예를 들면 질소에 산소를 혼합하거나 >아르곤에 다른것을 혼합한다던지... > >마지막으로 대기압 플라즈마는 그냥 공기를 사용해도 플라즈마 발생이 >가능하다는데 그런건 어떻게 해야하나요? > >그리고 플라즈마 관련서적 좀 추천도 해주세요. >더 구체적으로는 대기압 플라즈마로 추천해주시면 고맙겠습니다. >플라즈마가 물리학에 많이 관련된 것으로 아는데.. >화학적인 관점에서 서술해 놓은 책이 있었으면 좋겠네요.. >개념 탑재를 좀 하고 일을 해야 할거 같아서... ^^ > >플라즈마 알것 같기도 하면서 모르겠고 참 아리송하네요. 두분이 좋은 답변 해주셨는데, 제가 가지고 있는 유용한 자료 2건을 첨부합니다. 개발에 도움이 되었으면 합니다. -
답변
김진철님의 답변
2006-11-01- 0
>대기압 플라즈마를 쓰려고 하는데... >사용하는 Gas를 Ar로 할지 N2 로 할지 결정을 하지 못하고 있습니다. >가능하면 온도가 높은 것을 쓰고 싶은데 어떻게 해야 할런지.. >플라즈마는 대충 그런게 있구나 라고 알고있던지라.. 난감합니다. > >그리고 대기압 플라즈마 만들때 꼭 한가지 gas만 사용해야 하나요? >혼합하면 안되나요? 예를 들면 질소에 산소를 혼합하거나 >아르곤에 다른것을 혼합한다던지... > >마지막으로 대기압 플라즈마는 그냥 공기를 사용해도 플라즈마 발생이 >가능하다는데 그런건 어떻게 해야하나요? > >그리고 플라즈마 관련서적 좀 추천도 해주세요. >더 구체적으로는 대기압 플라즈마로 추천해주시면 고맙겠습니다. >플라즈마가 물리학에 많이 관련된 것으로 아는데.. >화학적인 관점에서 서술해 놓은 책이 있었으면 좋겠네요.. >개념 탑재를 좀 하고 일을 해야 할거 같아서... ^^ > >플라즈마 알것 같기도 하면서 모르겠고 참 아리송하네요. 대기압 프라즈마 소스의 전원 장치를 제작하여 드리는 업체입니다. 전원 전력 장치의 부분도 전문적인 소스가 요구 됩니다. 국내 수 업체에 납품하고 있습니다. www.dawonsys.co.kr 로 보시고 필요하시면 연구소 소장에 문의하십시요.