2006-11-22
org.kosen.entty.User@2b701046
여상모(dionysus79)
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DRAM에 사용되는 perovskite구조의 박막에 관련된 논문을 보고 있는데
서론 부분에서 기술의 발달에 따라 필요한 부분이 squeezing이란 말이 나오네요.
단어 뜻은 알겠는데 이 부분이 캐패시터와 어떻게 관련되어 나온 말인지
이해가 가지 않습니다.
고집적화를 위해 한정된 공간안에 캐패시터를 꽉 짜듯이 처리한다는 것인지...
박막 부분은 처음이라 와닿지 않는 부분이네요.
DRAM이나 박막 과정에서 말하는 "Squeezing"이란 무엇인가요?
- squeezing
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답변 1
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답변
김강형님의 답변
2015-05-09- 0
글쎄요.
반도체 공정에서 스퀴징이라하면 플럭스를 용기에서 앞뒤로 스퀴징하여 유동성을 증가시키는 것을 말할 수도 있고, 반도체 표면에서 응축물의 스퀴징 형상을 말하는 것일 수도 있어 어떤 것을 말하는지 구분이 어렵네요.
표준양자제한에서 보즈-아인쉬타인 응축물에서 일어나는 스퀴징에 대해서는 아래 논문에 소개되어 있다네요.
Nature 455, 1216-1219 (30 October 2008)
Squeezing and entanglement in a Bose–Einstein condensateJ. Estève, C. Gross, A. Weller, S. Giovanazzi & M. K. Oberthaler
아무래도 문맥 상으로는 공정상에서의 스퀴징을 말하는 것 같으니 식각 마스크 패턴용 패이스트를 패턴 내에 채우기 위해 스퀴징하여 메우는 것을 말하지 않나 싶습니다.