2006-11-22
org.kosen.entty.User@5438d65c
이재활(jeahwal)
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reactive sputter에 관해 공부하려 합니다.
회사에서 DC Magnetron Sputter와 E/Beam을 보유하고 있어 조금의 지식은 있습니다.
reactive sputter는 위의 두장비와는 많이 다르고 복잡하다고 해서
공부해 보려 합니다.
사용기판은 PC(polycarbonate)이고, E/Beam에서 사용하고 있는 증착재료는 산화물(TiO2, SiO2, Cr2O3 등) 입니다.
reactive sputter로 Metal target을 사용하여 산화물 박막을 만들려고 합니다.
기본적으로 AR 공정을 Sputter에 적용한다고 보셔도 무방합니다.
reactive sputter관한 기본적인 자료와 산화물을 다층으로 올렸을때 문제점, 국내,외 장비제작 회사 자료도 부탁 드립니다.
좋은, 많은 자료 부탁드립니다.
- reactive sputtering
- anti reflection
- thin film
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
조주웅님의 답변
2006-11-22- 0
첨부파일
- 1). 1122065647Recent aspects concerning DC reactive magnetron sputtering of thin films - a review.pdf (0 KB)
- 2). 1122065647Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases.pdf (0 KB)
- 3). 1122065647Control of the Reactive Sputtering Process Using Tow Reactive Gases.pdf (0 KB)
- 4). 1122065647Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases.pdf (0 KB)
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1). 1122065647Recent aspects concerning DC reactive magnetron sputtering of thin films - a review.pdf
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2). 1122065647Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases.pdf
(0 KB)
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3). 1122065647Control of the Reactive Sputtering Process Using Tow Reactive Gases.pdf
(0 KB)
- 4). 1122065647Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases.pdf (0 KB)
>reactive sputter에 관해 공부하려 합니다. >회사에서 DC Magnetron Sputter와 E/Beam을 보유하고 있어 조금의 지식은 있습니다. >reactive sputter는 위의 두장비와는 많이 다르고 복잡하다고 해서 >공부해 보려 합니다. > >사용기판은 PC(polycarbonate)이고, E/Beam에서 사용하고 있는 증착재료는 산화물(TiO2, SiO2, Cr2O3 등) 입니다. > >reactive sputter로 Metal target을 사용하여 산화물 박막을 만들려고 합니다. >기본적으로 AR 공정을 Sputter에 적용한다고 보셔도 무방합니다. > >reactive sputter관한 기본적인 자료와 산화물을 다층으로 올렸을때 문제점, 국내,외 장비제작 회사 자료도 부탁 드립니다. > >좋은, 많은 자료 부탁드립니다. > > > paper review를 제외한 상기 첨부내용은 아래의 주소에 있습니다. 참조하시기 바랍니다.. * advanced-energy 미국 전원 장비회사 : http://www.advanced-energy.com/search.aspx?search=reactive%20sputter 국내 대리점 : 영업 - 김태훈, 031-777-9191, 019-210-4286