2006-11-23
org.kosen.entty.User@5917b9bf
송원찬(qkf11)
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"SI기판 위에 1.5µm 간격으로 정렬된 , 수직으로 제작된 50nm의 직경을 갖는 SI 나노 와이어 구조를 제작할 수 있는 공정을 설계하라."
안녕하세요. 저는 부산에 사는 학부3년차 나노공학과 학생입니다.
다름이 아니오라, 이번에 저희 교수님께서 과제를 내주셨습니다.
과제를 수행하기 위해 NANO LETTER와 사이언스 등을 참조했지만 정렬에 관한 내용을 찾기 힘들었습니다.
혹시나, 관련 논문이나 위 설계를 수행할수 있는 자료를 참조할만한 서적이나, 관련 사이트등을 알고 계신분은 제발 가르쳐 주십시오.
많은 도움과 조언 및 편달을 부탁드립니다.
쌀쌀한 초겨울 감기 조심하세요~^^
- VLS
- nano
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
서효원님의 답변
2006-11-28- 0
공정을 설계하라는 말은... 획일적인 답을 원하는건지 아니면 어떤 아이디어적 접근을 원하는건지는 모르겠습니다... 일단은 정형화된 방법은... 가정은 Si기판상 Si나노와이어 구조를 성장시킬 장비가 있어야 겠죠? VPE계열이겠지만... 1. Si기판상 패터닝 공정이 시행이 되어야겠죠? (Si기판에 떡칠을 하지 않을려면.) 2. 자알 올려야겠죠? 이상까지가 물리적인 방법이고, 화학적인 방법으로는... 어떤게 있을까요? Si의 in-situ etching을 통한 metallic dot 을 만든다는 보고를 들은것 같은데 참고바랍니다. 검색을 nano,patterning, ALO 등으로 검색해보세요. >“SI기판 위에 1.5µm 간격으로 정렬된 , 수직으로 제작된 50nm의 직경을 갖는 SI 나노 와이어 구조를 제작할 수 있는 공정을 설계하라.“ > >안녕하세요. 저는 부산에 사는 학부3년차 나노공학과 학생입니다. > >다름이 아니오라, 이번에 저희 교수님께서 과제를 내주셨습니다. > > >과제를 수행하기 위해 NANO LETTER와 사이언스 등을 참조했지만 정렬에 관한 내용을 찾기 힘들었습니다. > >혹시나, 관련 논문이나 위 설계를 수행할수 있는 자료를 참조할만한 서적이나, 관련 사이트등을 알고 계신분은 제발 가르쳐 주십시오. > >많은 도움과 조언 및 편달을 부탁드립니다. > >쌀쌀한 초겨울 감기 조심하세요~^^