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일단 압력 게이지와 관련하여 몇가지를 해설해 드리겠습니다. 질문1): >plasma etch에 사용되는 manometer를 calibration하는 방법을 알고 싶습니다. 답변: manometer란 압력계(특히 항공기에서 사용하는 기압계)를 의미합니다. 진공장비에서는 pressure gauge라는 표현을 쓰시면 더 좋고 범용으로 이해됩니다. 질문에서 Baratron gauge라는 표현을 쓰셨는데 이것은 diaphram gauge의 일종입니다. MKS라는 회사에서 판매하는 diaphram gauge의 상표명이 Baratron gauge입니다. 진공에서 압력을 측정하는 게이지는 측정 범위에 따라 또는 측정 방법에 따라, convectron gauge, diaphram gauge, ion gauge, cold cathode gauge 등이 있는데 이중에서 우리가 상식적으로 생각하는 방법 (기체 분자 양에 따른 압력차를 직접 측정함)으로 압력을 측정하는 유일한 gauge는 diaphram gauge 즉, Baratron gauge가 유일하며 다른 것들은 기체 분자가 금속표면에 흡착되었을 때 전기적 특성이 바뀌는 것을 이용하여 간접적으로 압력을 측정하는 것입니다. 따라서 Baratron gauge는 상당히 정확하게 압력을 읽어내나, 측정 range가 2 order 정도 (baratron gauge 라벨에 측정 범위 표시 되어 있음, 예를 들어, 1-100 torr, 0.01-1 torr, 0.1-10 torr 등) 밖에 되지 않기 때문에 좀 불편한 단점이 있습니다. 그리고 다른 게이지에 비해 압력을 센싱하는 부분에 다른 물질이 조금 흡착되어도 비교적 영향을 덜 받습니다.(cnovectron gauge의경우에는 센싱하는 부분에 다른 물질이 증착되면 정밀도가 나빠지기 시작합니다. 따라서 calibation을 자주 하지 않아도 되나, 정밀도에 의심이 가면 MKS 한국지사에 연락하셔서 전문가들이 calibration하게 하는 것이 좋습니다. 특히 게이지의 구조상 비 전문가가 만지면 망가지기 십상입니다. 질문2: >manual을 보면 pressure gauge 같은 것을 사용하여 calibration하는 방법만 나와 있는데 gauge가 없는 경우에 calibration하는 방법도 궁금합니다..(예를 들면 며칠 동안 pumping 한 후에 manometer를 장착하는지 등) 또한 manometer를 사용하던 중 polymer등이 쌓이게 되면 manometer 감도를 낮춰야 할 텐데 이에 대한 어떤 기준이 있는지 알고 싶습니다.. 답변2: 폴리머가 얼마나 많이 쌓일지는 모르지만 어느 정도 (예를 들어 제장비의 경우 하루 사용 4시간 기준) 6개월 정도는 문제 없습니다. 가급적이면 calibration을 직접하지 마시고 MKS 한국 지사에 연락을 하세요. 작으나마 도움이 되기를 바랍니다.