2006-12-29
org.kosen.entty.User@7a282114
양재훈(yjhy)
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반도체용 장비에 pressure gauge를 사용하고 있습니다..
그런데 사용중인 gauge를 보정하는 gauge가 있는지요??
(reference gauge라고 들은 것 같습니다..)
있다면 그냥 chamber에 같이 설치해서 사용하면 되는것인가요??
답변 부탁드립니다..
- vaccum
- gauge
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
이영국님의 답변
2006-12-29- 0
일단 어떤 종류의 게이지인지를 알아야 합니다. 보통 진공 장비에 붙어있는 게이지는 측정 압력 범위에 따라, convectron 게이지 ( 10E(-3) torr이상에서 사용 Baratron 게이지(이것은 상표이름이고 diaphram 게이지가 맞음, 상압~10E(-3) torr사용) cold cathode 게이지 (10E(-2) ~ 10E(-8) torr에서 사용) ion 게이지 (10E(-3) ~ 10E(-10)torr 에서 사용) 등이 있습니다. 일단 Baratron 게이지를 제외하고 나머지는 기체의 특성에 따라 절대 압력이 조금씩 다르게 reading되므로 주의하셔야합니다. 본론으로 들어가서 게이지 보정은 특정한 기체를 흘린 상태에서 보정된 게이지를 가지고 보정합니다. 질문하신 분 말씀처럼 측정하고자 하는 게이지와 보정 게이지(reference gauge)를 같은 챔버에 붙여 놓고 보정합니다. 그런데 보정용 게이지는 표준연구원, 진공장비 업체의 보정센터 등 특수한 곳에만 있어 일반인들은 구할 수가 없습니다. 그리고 그런 것은 남에게 빌려주면 정밀도가 떨어지므로 다른 곳에서 빌리기란 거의 불가능합니다. 따라서 진공게이지의 정밀도가 의심될 때는 전문가에게 의뢰하십시오. 판매 업체에 의뢰하는 것이 가장 빠릅니다. 마지막으로, 현재 사용하고 있는 게이지의 종류를 정확하게 알려주시면 제가 아는 범위에서 다시 답변을 드리겠습니다. -
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김진철님의 답변
2007-01-04- 0
>반도체용 장비에 pressure gauge를 사용하고 있습니다.. > >그런데 사용중인 gauge를 보정하는 gauge가 있는지요?? >(reference gauge라고 들은 것 같습니다..) > >있다면 그냥 chamber에 같이 설치해서 사용하면 되는것인가요?? > >답변 부탁드립니다.. > 실제 많이 사용하는 것의 측정기는 수주나 수은으로 측정하는 것들의 측정기 즉, 원기에 대한 비교 측정기 입니다. 이 중에 가장 원기에 가까운 것이 10e-4 torr 까지를 측정하는 Mcload 라는 수은 측정기가 있습니다. 특히 화학 분야에 폭발성이 있는 위험 지역에서 정교히 측정할때 사용되는데 구미에 있는 코오롱 합섬 공장에 PTA 라고 원사 원료인 200Mesh 의 분말을 N2 가스 분위기에서 기력이송하고 드라잉을 하는 공정 중에 많이 설치 했습니다. 이것도 수분에 의한 문제로 흡습제를 넣어 놓았으며 가끔 다시 재 조정을 합니다. 수은으로 측정하는 원기입니다. 또한 잘 보정되어 상시 유지하고 있는 한국표준연구소의 진공연구실의 모든 분들이 매우 이 분야에 전문 지식과 설비를 갖추고 있습니다. 특히 원장이 되신 정광화 박사님이 많은 시간과 투자를 기울여 대단한 실력을 갖고 있으므로 협조를 받으십시요. -
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김진철님의 답변
2007-01-04- 0
>반도체용 장비에 pressure gauge를 사용하고 있습니다.. > >그런데 사용중인 gauge를 보정하는 gauge가 있는지요?? >(reference gauge라고 들은 것 같습니다..) > >있다면 그냥 chamber에 같이 설치해서 사용하면 되는것인가요?? > >답변 부탁드립니다.. > 첨언 합니다. Mcload 측정기는 구매하기 쉽고 값도 그리 고가는 아닙니다. 현재 사용하는 측정기들은 영점 교정을 대기압에 설정하도록 되있으며 span은 원래 caribration gas 에서 설정된 진공에 설정된 지점에서 해야 하나 이를 많드는 조건이 곤란하므로써 측정기가 측정치 못하는 진공도 즉, Full 진공이라고 일컷는 지점을 측정기의 한계 로 놓고 교정하여 비교 측정에 들어 갑니다. 그런데 그랜- 필립스(제우스에서 판매)에서 생산한 convection 측정기는 측정 원기를 따로 판매하여 span을 보정할수 있습니다. 그러나 바라트론 측정기는 격막의 시효효과로 오래 된 경우 원래 상태로 되돌아 오기 곤란하여 보정도 한계가 있습니다. 어째든간에 모든 측정기는 오염이든 시효 효과로든 틀리게 되있으므로 Mclaod 측정기를 병행 설치하고 기끔 측정할때만 회전 시켜 측정하고 원상태로 돌려 놓으면 측정과 교정에 동시 도움을 줄겁니다. 단, 이측정기는 상시 측정기가 아니라 측정하고 싶은 지점에서 돌려 측정하고 다시 원 상태로 돌려 닫는 측정기 입니다.