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>대학 학부 4학년 생입니다 > >SEM 측정시 Pt coating 을 하는 이유가 무엇인가요? > >말들어보면 Pt coating을 하는 물질이 있고 안하는 물질이 있다고 들었습니다. > >어떤 물질에 대해서는 coating을 하고 안하는지 궁금합니다. > >또한 > >제가 SKD 61강으로 TiAlN Coating을 하고 있는데 SEM image 가 잘 안나와서요 ^^;; > >단면 Coating 층이 잘 안보입니다.. 분명히 실험은 제대로 한것 같은데 단지 Cutting을 잘못해서 > >안나오는건지... 에휴~~ ㅋ > >그럼 부탁드립니다. SEM 측정시 Pt coating 을 하는 이유가 무엇인가요? -> Title 에서 sem 검색내용 중 SEM 또는 FE-SEM 시편 제작할때 코팅하는 이유? - 2006/10/24 참조하시기 바랍니다. 단면 Coating 층이 잘 안보입니다. -> 아주 고운 사포(3000 이상)로 측면을 연마하면, 이미지가 잘 나온다고 들었습니다. 그 이유는 측면 연마로 인해, 전자 충돌에 의한 표면의 scattered reflection 억제로 사료됩니다.

주사된 전자를 시편 외부로 흘려 내보내야 하기 때문입니다. 우리가 SEM이나 FE-SEM에서 이미지를 얻는 정보는 이차 방출 전자로 부터 입니다. 따라서 표면에 때려진 원래의 전자를 제거해야되는데, 도체 시료의 경우는 전류가 잘 흐르니까 sample holder를 통해 밖으로 잘 빠져나가고 절연체 시료의 경우는 표면에 백금을 코팅해서 일차 전자가 표면에 charging되지 않고 빠져 나가게 하는 것입니다. 그리고 단면층이 안 보이는 경우는 표면이 너무 거칠어서 그런 것 같습니다. 시료가 너무 울퉁불퉁하면 전자 렌즈라 할지라도 초점 잡기가 어렵습니다. 이경우 표면을 약간 polishing 하면 되겠네요.

>대학 학부 4학년 생입니다 > >SEM 측정시 Pt coating 을 하는 이유가 무엇인가요? > >말들어보면 Pt coating을 하는 물질이 있고 안하는 물질이 있다고 들었습니다. > >어떤 물질에 대해서는 coating을 하고 안하는지 궁금합니다. > >또한 > >제가 SKD 61강으로 TiAlN Coating을 하고 있는데 SEM image 가 잘 안나와서요 ^^;; > >단면 Coating 층이 잘 안보입니다.. 분명히 실험은 제대로 한것 같은데 단지 Cutting을 잘못해서 > >안나오는건지... 에휴~~ ㅋ > >그럼 부탁드립니다. ======================================================================================== 기존에 올라왔던 유사 질문에 대한 답변을 정리했습니다. * SEM 또는 FE-SEM 시편 제작할때 코팅하는 이유 --> 시편에 코팅을 하는 이유는 전자의 Charge를 막기 위해서 입니다. secondary electron이 detector로 가서 이미지를 형성하게 되는데, 이때 시편의 표면에 일정시간 전자빔을 맞게 되면 전자가 시편의 표면이나 edge부위에 잔존하여 secondary electron이 오는것을 방해하게 됩니다. 따라서 시편 표면에 전자가 charge되지 않도록 전자의 path를 만들어 주는 역할을 합니다. 마운팅할때의 레진은 주로 폴리머(비전도체)가 대부분이며(전도체 레진도 있음), 금속이라 하더라도 전자의 charge현상을 완화하기 위해서는 반드시 전자의 path를 만들어 주어야 합니다. * SEM과 FE-SEM 시편 제작시 코팅하는 물질이 다른 이유 (SEM의 경우 gold, FE-SEM의 경우 pd 또는 carbon) --> 일반 Normal SEM의 경우에는 주로 glod 코팅을 하거나 carbon 코팅을 하면 됩니다. 또는 Carbon tape를 붙여 주지요... 전자의 Charge현상을 막기 위해서 전자가 빠져나갈 path를 만들어 주는 역할이지요. 하지만 FE-SEM에서는 다릅니다. FE-SEM에서는 Resolution이 뛰어나서 비교적 입자가 큰 gold 입자가 이미지 형성을 방해하기 때문이지요. 때로는 gold image가 보여서 실제 시편 이미지 관찰에 방해를 합니다. 따라서 비교적 입자가 분해능 보다 훨씬 미세한 pt(백금)코팅을 해야 합니다. 또 다른 이유로는 FE-SEM (또는 FE-TEM)은 특히 진동(Vibration)과 진공(Vacuum)에 매우 민감한 장비입니다. Carbon 코팅, 또는 Carbon tape를 사용하면 안됩니다. 일반적으로 (정석대로라면), 단단한 폴리머 레진(혹은 전도체레진)을 사용하고, Pt 코팅을 하거나 Carbon paste를 사용하여 오븐에 24시간 이상 보관하여 완전히 수분을 제거한 후 시편을 장입하여야 제대로 된 이미지 관찰이 가능합니다. 그렇지 않으면 수시로 flash 기능을 사용하여야 하며, 제대로 된 이미지 관찰도 힘들고, 무엇보다도 장비에 무리, 특히 오염이 심하게 됩니다. 일반 SEM에서도 고배율(국소부위)를 일정시간 이상 전자를 쬐면 이미지가 검게 변합니다. (시편이 타는 것이 아니라 C, O으로 인한 오염현상 입니다.) 빔의 에너지가 훨씬 강한 FE-SEM, 특히 고배율, 특히 Si 박막에서는 이런 현상이 더 심하겠지요

하기의 모든 답변이 다 정답이네요. 백금이든, 금이든, 카본이든 재료에 맞추어서 적당히 해 주는 것은 중요합니다. 특히 금속재료 FE-SEM분석에는 Pt가 최곱니다. 다만, EDS분석에서 이 성분을 detecting되는 원소로 착각하는 우만 안 범하면 되겠죠? >대학 학부 4학년 생입니다 > >SEM 측정시 Pt coating 을 하는 이유가 무엇인가요? > >말들어보면 Pt coating을 하는 물질이 있고 안하는 물질이 있다고 들었습니다. > >어떤 물질에 대해서는 coating을 하고 안하는지 궁금합니다. > >또한 > >제가 SKD 61강으로 TiAlN Coating을 하고 있는데 SEM image 가 잘 안나와서요 ^^;; > >단면 Coating 층이 잘 안보입니다.. 분명히 실험은 제대로 한것 같은데 단지 Cutting을 잘못해서 > >안나오는건지... 에휴~~ ㅋ > >그럼 부탁드립니다.