2007-01-12
org.kosen.entty.User@78a0d6ff
조주웅(afkll)
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메탈의 산화정도를 분석하는 장비가 무엇인지 궁금합니다.
대기중의 산화, 플라즈마에 의한 산화, 극성용액에 의한 산화등의 조건에서
발생되는 산화를 정량, 정성적으로 분석하고 싶습니다..
- Metal oxidation
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답변 5
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답변
황병철님의 답변
2007-01-12- 0
> >메탈의 산화정도를 분석하는 장비가 무엇인지 궁금합니다. >대기중의 산화, 플라즈마에 의한 산화, 극성용액에 의한 산화등의 조건에서 >발생되는 산화를 정량, 정성적으로 분석하고 싶습니다.. > > > > > > TGA라는 열분석 장비가 있습니다. 이 장비는 메탈의 산화과정에서의 질량 변화를 통해 산화량을 정량적으로 측정합니다. 아래 사이트를 참고하시기 바랍니다. http://www.dilatometer.co.kr/ -
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김철홍님의 답변
2007-01-14- 0
열분석을 하면, 승온/냉각 또는 온도의 유지라는 상태에서의 질량변화로 체크를 할 수 있습니다만, 얼마나 산화가 되었는지, 어느 정도 산화가 되었는지는 확인하기 어려울 수 있습니다. 저는 그래서, EMPA나 SIMS등으로 산소에 대한 MAPPING을 하여 분석을 하고 있습니다. 다만, 이렇게 할 경우 다양한 조건의 샘플을 만들어야 한다는 번거로움이 있을 수는 있습니당... > >메탈의 산화정도를 분석하는 장비가 무엇인지 궁금합니다. >대기중의 산화, 플라즈마에 의한 산화, 극성용액에 의한 산화등의 조건에서 >발생되는 산화를 정량, 정성적으로 분석하고 싶습니다.. > > > > > > -
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조주웅님의 답변
2007-01-15- 0
> >메탈의 산화정도를 분석하는 장비가 무엇인지 궁금합니다. >대기중의 산화, 플라즈마에 의한 산화, 극성용액에 의한 산화등의 조건에서 >발생되는 산화를 정량, 정성적으로 분석하고 싶습니다.. > > > > > > 저도 EPMA, EDS, SIMS 를 생각하였습니다. 측정비용 측면에서 EDS가 가장 유력하구요. 그러나 reference 가 없어서 고민하였습니다. 시편은 구리입니다. 관련 논문이 있다면, 답변 부탁드립니다. (시편과 EPMA, EDS, SIMS 분석기기에 상관없습니다.) -
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이영국님의 답변
2007-01-16- 0
AES (Auger Electron Spectroscopy) depth profile로도 박막의 산화 두께를 알 수있습니다. 하지만 장비 operator가 산화구리의 etch rate를 알고 있거나 reference sample이 있어야 정확한 두께를 알 수 있습니다. 이 장비는 서울의 KIST를 비롯한 몇몇 연구소에 있습니다. -
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김철홍님의 답변
2007-01-30- 0
제가 PDP용 전극으로 Cu계를 실험할 때 산화문제로 고민고민하면서 측정한 데이터가 있습니다. 회사안에 자료가 있어서 올리지는 못하겠지만..필요하시면 연락주시기 바랍니다. SE플라즈마면...표박사님이 아마도 제 연락처는 가지고 있을 듯... 그럼, 수고하세요.. > >메탈의 산화정도를 분석하는 장비가 무엇인지 궁금합니다. >대기중의 산화, 플라즈마에 의한 산화, 극성용액에 의한 산화등의 조건에서 >발생되는 산화를 정량, 정성적으로 분석하고 싶습니다.. > > > > > >