2007-01-15
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정인철(dlscjf35)
- 5
대학 학부 4년생입니다
Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로
Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다.
이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ
ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지)
논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다.
다층 코팅 논문 자료도 좋습니다..
감사합니다.
- TiO2
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답변 5
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답변
이재활님의 답변
2007-01-15- 0
>대학 학부 4년생입니다 > >Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로 > >Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다. > >이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ > >ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지) > >논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다. > >다층 코팅 논문 자료도 좋습니다.. > >감사합니다. ======================= 마지막 논문이 들어가지 않아서 다시 첨부합니다.^^ -
답변
이재활님의 답변
2007-01-15- 0
첨부파일
- 1). 01150426262005 Structure and properties of titanium oxide layers deposited by reactive plasma activated electron beam evaporation.pdf (0 KB)
- 2). 01150426262005 Determination and analysis of dispersive optical constant of TiO2 and Ti2O3 thin films.pdf (0 KB)
- 3). 01150426262004 Spectroscopic ellipsometry study on e-beam deposited titanium dioxide films.pdf (0 KB)
- 4). 01150426262005 Determination and analysis of dispersive optical constant of TiO2 and Ti2O3 thin films.pdf (0 KB)
- 5). 01150426262004 Spectroscopic ellipsometry study on e-beam deposited titanium dioxide films.pdf (0 KB)
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1). 01150426262005 Structure and properties of titanium oxide layers deposited by reactive plasma activated electron beam evaporation.pdf
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2). 01150426262005 Determination and analysis of dispersive optical constant of TiO2 and Ti2O3 thin films.pdf
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3). 01150426262004 Spectroscopic ellipsometry study on e-beam deposited titanium dioxide films.pdf
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4). 01150426262005 Determination and analysis of dispersive optical constant of TiO2 and Ti2O3 thin films.pdf
(0 KB)
- 5). 01150426262004 Spectroscopic ellipsometry study on e-beam deposited titanium dioxide films.pdf (0 KB)
>대학 학부 4년생입니다 > >Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로 > >Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다. > >이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ > >ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지) > >논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다. > >다층 코팅 논문 자료도 좋습니다.. > >감사합니다. =================================================================================== 저도 찾아 봤는데 입맛에 맞는 층구조는 찾기 힘드네요. 제가 찾은 몇가지 논문을 첨부합니다. 그리고 마지막에 첨부한 논문은 “TiO2 화학조성비에 따른 재현성에 관한 논문“으로 읽어보시면 도움이 되실듯 합니다. -
답변
박장식님의 답변
2007-01-16- 0
공부하시느라 수고가 많습니다. 상기에 대한 논문은 아주 많은 편입니다. TiO2의 굴절율이 2.3, SiO2 굴절율이 1.6으로서 굴절율 차가 큰 것을 이용해서 캐메라렌즈, 모니터 등의 저반사 방지막으로 일반적으로 많이 사용합니다. 관련논문의 “www.yeskisti.net“ 홈페이지에서 검색하면 찾을 수 있을 것이고 한국진공학회 발표대회집 1997년 pp53-54 에도 발표가 되어 있 습니다. 오늘도 즐겁고 힘찬 하루가 되세요. > 대학 학부 4년생입니다 > >Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로 > >Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다. > >이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ > >ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지) > >논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다. > >다층 코팅 논문 자료도 좋습니다.. > >감사합니다. -
답변
안길홍님의 답변
2010-01-22- 0
>대학 학부 4년생입니다>>Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로 >>Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다.>>이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ>>ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지)>>논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다.>>다층 코팅 논문 자료도 좋습니다.. >>감사합니다. 자료 첨부 -
답변
이상후님의 답변
2010-01-24- 0
첨부파일
>대학 학부 4년생입니다>>Plasma Assisted E-Beam Evaporation 장비로 >>Si wafer 와 Quartz wafer에 TiO2/SiO2/TiO2 박막을 증착할려고 합니다.>>이에 대해 대략적인 공정조건을 잡아보려고 하는데 관련 자료가 잘 안찾아 지네요 ㅠㅠ>>ScienceDirect에서도 찾아 봤는데 안나오더라구요..(제가 잘 못찾아서 그런지)>>논문 자료 찾을수 있는 곳 이나 관련 논문을 가지고 계신분들 부탁 드립니다.>>다층 코팅 논문 자료도 좋습니다.. >>감사합니다. 첨부 논문 참고바랍니다.