2007-01-16
org.kosen.entty.User@2c5daa2a
이동근(haeoleum21)
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안녕하십니까?
Sputter를 이용해서 Al 박막을 하고 있는데 Al이 경도가 약해 Scratch에 아주
취약합니다
그래서 표면 층에 Scratch에 강한 아주 얇은 박막을 증착 하려고 하는데
좋은 물질이 없을 까요?. 아니면 진공박막이 아니더라도 다른 좋은 방법 좀
추전 해 주십시오
Al의 두께가 한 200~250nm 정도이고 알루미늄의 광학적 물성의 변동이 심하지
않는 선에서 표면 경도를 강하게 하고 싶습니다 기판은 필름종류를 사용합니다
- Al thin film
- 내마모성
- 표면처리
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
박혜정님의 답변
2007-01-16- 0
>안녕하십니까? > > Sputter를 이용해서 Al 박막을 하고 있는데 Al이 경도가 약해 Scratch에 아주 > >취약합니다 > >그래서 표면 층에 Scratch에 강한 아주 얇은 박막을 증착 하려고 하는데 > >좋은 물질이 없을 까요?. 아니면 진공박막이 아니더라도 다른 좋은 방법 좀 > >추전 해 주십시오 > >Al의 두께가 한 200~250nm 정도이고 알루미늄의 광학적 물성의 변동이 심하지 > >않는 선에서 표면 경도를 강하게 하고 싶습니다 기판은 필름종류를 사용합니다 > > 일반적으로 passivation layer로 SiO2, Si3N4를 사용하는데요. Al의 광학적 물성 변동이 없어야 하고, 표면 경도까지 강하게 해야한다면 ITO 는 어떨지... 제작비는 비싸지만요. evaporator로 Al2O3를 박막으로 증착해도 괜찮을 듯 싶은데요.... -
답변
백인재님의 답변
2007-01-17- 0
안녕하십니까. 아무래도 PI, PET나 PES등의 Polymer substrate를 사용하시는 듯 보입니다. 폴리머 기판 위에 아무래도 무기막을 올렸을 시 박막의 접착력이 떨어지는 현상이 있습니다. 이는 기판이 친수성 이냐 소수성이냐 등에 영향을 받으며 세정처리 또는 표면처리로 인해 접착력을 향상시킬 수 있습니다. 쉽게 박막의 접착력은 Tape Test로 알 수 있는데... 쉽게 말해 증착한 막 위에 테이프를 붙였다 떼어낼때 박막이 얼마나 뜯겨나가나로 판단하는 것 입니다. 소자의 Al Layer의 접착력(기판과 박막의 접착 강도로 이것이 약할시 손으로 긁히거나 박막이 떨어져 나가는 문제가 있습니다) 이 문제가 된다 한다면. 기판을 Plasma 처리를 한다든지의 방법이 있을 수 있습니다. 폴리머 기판은 wafer에 비해 표면 거칠기가 크므로 플라즈마 처리시 평탄도 향상과 cleaning 효과를 가져올 수 있습니다. 또한 기본적으로 진공상태등의 성막 조건도 박막의 접착력과 연관이 있을 수 있습니다. 일반적으로 10-7이상의 고진공이 필요합니다.(박막증착 조건중 진공도가 얼마인지 확인해보시기 바랍니다.) 진공증착법 도 여러가지가 있습니다. PVD 방식과 CVD 방식으로 크게 나눌수 있습니다만 Polymer(플라스틱 기판)의 경우는 PVD 방식을 추천합니다. Thermal, E-beam등이 일반적입니다. 도움이 되시길 바랍니다~ >안녕하십니까? > > Sputter를 이용해서 Al 박막을 하고 있는데 Al이 경도가 약해 Scratch에 아주 > >취약합니다 > >그래서 표면 층에 Scratch에 강한 아주 얇은 박막을 증착 하려고 하는데 > >좋은 물질이 없을 까요?. 아니면 진공박막이 아니더라도 다른 좋은 방법 좀 > >추전 해 주십시오 > >Al의 두께가 한 200~250nm 정도이고 알루미늄의 광학적 물성의 변동이 심하지 > >않는 선에서 표면 경도를 강하게 하고 싶습니다 기판은 필름종류를 사용합니다 > >