2007-01-28
org.kosen.entty.User@3cbb49a3
정종국(zzang036)
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안녕하십니까.
PES or Polymer substrate 기판을 이용하여 스퍼터링 ZnO 박막에 대한 연구를 진행하고 있는 대학원생입니다.
저온 증착에 대한 응력에 대해서 잘 알고 싶습니다. 여러차례 증착실험중 박막에 격자불일치 현상에 따른 (인장응력 or 압축응력) 박막의 균열과 휨 현상이 발생하고 있습니다.
폴리머 기판에 대한 응력 관련 논문을 구하고 싶습니다.
감사합니다.
- 박막의 응력
- polymer
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이영국님의 답변
2007-01-30- 0
논문입니다.