지식나눔

PES 기판을 이용한 ZnO 박막에 대한 응력

안녕하십니까. PES or Polymer substrate 기판을 이용하여 스퍼터링 ZnO 박막에 대한 연구를 진행하고 있는 대학원생입니다. 저온 증착에 대한 응력에 대해서 잘 알고 싶습니다. 여러차례 증착실험중 박막에 격자불일치 현상에 따른 (인장응력 or 압축응력) 박막의 균열과 휨 현상이 발생하고 있습니다. 폴리머 기판에 대한 응력 관련 논문을 구하고 싶습니다. 감사합니다.
  • 박막의 응력
  • polymer
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