2007-01-29
org.kosen.entty.User@34ace03f
양재훈(yjhy)
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격막식 게이지는 격막에 바늘을 달아 휜 정도에 따라 게이지를 측정하는 것으로 알고
있습니다..
그런데 정전용량형 격막식 게이지는 바늘을 달지 않고 격막의 휘는 정도를 정전용량
을 측정해 pressure를 나타내는 것으로 알고 있는데요 이런 방식의 측정이 바늘을 이
용한 측정보다 어떤 장점이나 단점이 있는지 알고 싶습니다...
빠른 답변 부탁드립니다...
- diaphragm
- gauge
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
이영국님의 답변
2007-01-30- 0
앞에서 자세히 설명해 주셔서 저는 정전용량 게이지의 장단점만을 알려 드립니다. 물론 convectron gauge, ion gauge, cold cathode gauge에 비교한 것입니다. ---장점--- 1. 정전용량 게이지는 압력 변화에 의한 정전용량을 읽어내므로 기체의 종류와 무관하게 압력을 읽을 수 있습니다. 2. 응답속도(읽어 내는 속도)가 빠릅니다. 3. 수십 Torr 이상의 압력에서도 사용이 가능합니다. (ion gauge, cold cathode gauge는 이 정도 압력에서 사용 불가) ---단점--- 1. 오래 사용하면 격막 금속에 fatigue(피로 현상)가 발생하여 정밀도가 떨어집니다. 2. 측정하는 범위가 2 order 정도로 다른 게이지에 비해 좁습니다. (예를 들면, 0.01-1 Torr, 1-100 Torr 이런식,,,) 정전용량 게이지의 대표적인 상품은 MKS사의 Baratron 게이지입니다. -
답변
권일범님의 답변
2007-01-30- 0
안녕하세요. 압력계에 관한 질문으로 생각됩니다. 제가 아는 범위에서 답변을 드리겠습니다. 격막을 사용하는 방법이 압력계의 가장 일반적인 형태입니다. 압력이 격막의 변형를 일으키면 그 변형에 따라서 바늘이 움직이도록 구성되어 전기적인 입력이 없이 순전히 물리적인 힘으로만 작동되는 바늘식 격막 압력 게이지가 압력계의 초기 모델일 것으로 생각됩니다. 장점은 전기 구동이 필요없다는 것이겠죠. 하지만 단점으로는 이러한 게이지는 격막의 변형을 바늘의 움직임으로 선형적으로 변화시키기 어려워서 압력 변화에 따른 게이지 눈금을 선형적으로 표시하기 어려웠을 것으로 생각됩니다. 반면 격막의 변화를 전기적인 정전용량을 측정하는 전기식 게이지로 바꾼 이유로는 압력에 따른 격막의 변화를 전기 출력 변화로 선형적으로 얻을 수 있는 장점이 있었을 것입니다. 그렇지만 전기 구동이라는 단점이 있겠네요. 압력 분해능은 아마도 정전용량형이 훨씬 좋아졌을 것으로 생각됩니다. 이상으로 제가 아는 범위 안에서 간단하게 답변드립니다. 감사합니다.