2007-02-25
org.kosen.entty.User@679da23
한희(hanheekr)
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Mo, SiN 기판에서 물얼룩의 성분들은 무엇일것으로 생각되어 지나요?
관련 자료가 있으시면 고수님들의 도움을 얻고자 합니다.
- water marker
- si
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답변 1
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답변
김강형님의 답변
2015-05-19- 0
물에 고용되어 있던 무기질과 주로 챔버 안에서 오염되어 떠 있던 분진이 주성분이라고 판단됩니다.
물은 초순수를 쓰게 되면 대부분 제거되지만 챔버 안의 미분은 제거되기가 어렵습니다.
정전기를 제거한 초순수를 사용하는 이유도 그런 미분들을 흡착하는 거을 억제하기 위한 한 가지 방법입니다.
그러나 클린룸이라 해도 외부로 부터 유입되는 미분을 모두 제거하는 것은 불가능하기 때문에 세정장치에서 세정용수에 미분이 섞이는 것은 어쩔 수 없습니다.
차라리 물 얼룩을 줄이는 방법으로는 물 건조속도를 신속하게 하면 줄이기 쉽습니다.
즉, 세정 수 내의 미분은 제거되었다고 본다면 챔버 내의 미분들이 물 방울에 흡착되기 전에 건조하는 것이 실효성이 있는 방법입니다.
예를 들어 건조속도를 높일 수 있도록 물로 세정한 뒤에 알콜이나 아세톤에 침지했다가 건조하는 방법을 적용하는 것입니다.