지식나눔

Sputtering으로 Al2O3 300nm 정도 증착 할 수 있는 곳을 찻습니다.

Field effect transitor(FET)를 만드는데 insulaor로 사용할 만한 stoichiometry 잘 맞는 300nm 두께의 Al2O3 막이 필요합니다. Sputtering으로 증착가능한 기관이나 연구소를 알려주시면 감사하겠습니다.
  • 산화물 막
  • insulator
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