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지식나눔

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Al alloy target의 합금 성분별 목적은..?

2007-03-13 org.kosen.entty.User@6ef295ab 김광수(kwangs)
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Al sputtering시에 순수 Al만 쓰는 것보다는 합금으로 많이 사용되는데.. 들어가는 합금 성분 별로 그 목적이 무엇이 있는지 궁금합니다.. 정보가 쉽게 안찾아져서 질문 드립니다.. 아시는 분 답변 부탁드립니다..
  • Al
  • sputtering
  • target
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