2007-03-22
org.kosen.entty.User@5bfea62a
정종국(zzang036)
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안녕하십니까..
전문가의 의견을 듣고자 이렇게 메일 보내드립니다.
현재 마그네트론 스퍼터링 타겟 사용효율 개선을 위해 연구 실험중입니다.
배경:
타겟 형태는 두께 16T 세로: 300cm 가로: 10cm 의 타겟을 이용한 마그네틱 개조에 따라 타겟 사용 효율을 개선 하려고 합니다.
목적:
실제 타겟의 경우 Coner부의 타겟이 중앙에 비에 사용효율이 많이 떨어집니다. 따라서 상,하 센터부 영역에 자석의 별도의 SUS304판을 이용하여 자장의 세기를 감소 시켰습니다.
그 이후 실제 플라즈마 영역에 대한 타겟 소모[Erossion]량을 상대적으로 비교하려고 합니다.
중량을 이용한 상대적 비교는 한계가 있는 상태입니다. 계산식이나 별도의 방법이 없을까요?
정확한 반원으로 파인다면 어떻해든 적분식으로 계산 해보려고 했지만, 실제 파이는 부분에 있어서 정확한 형태를 갖추고 있지않아 상대적으로 마그네틱 감소에 대해서 개선된 상황을 증명 할 수가 없네요.
해답을 구합니다.
- Target
- Sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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