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지식나눔

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Dry Etching을 할려고 하는데...궁금한점이 있습니다.

2007-03-26 org.kosen.entty.User@4f7d7c96 양철규(sprtmWKd)
  • 1
저희가 HfAlO 막에 대해 Dry Etching을 할려고 합니다. 근데 막상 논문이나 검색결과 High k 물질로만 소개되어 있지. 마땅한 Dry Etching Condition 이나 Gas등에 대해 소개되어 있지 않습니다. 그래서 여기 Site에 문의하게 되었습니다. HfAlO에 대한 Dry Etching 자료나 논문이 있으시면 부탁드립니다. 감사합니다.
  • HfAlO
  • Dry Etch
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답변 1
  • 답변

    라용춘님의 답변

    2007-03-27
    • 0

    첨부파일

    안녕하세요 아래 사이트에 확인해뵈고, 첨부 파일이 도움이 될런지 모르겠습니다. http://www.freepatentsonline.com/20060175289.html 라용춘 >저희가 HfAlO 막에 대해 Dry Etching을 할려고 합니다. > >근데 막상 논문이나 검색결과 High k 물질로만 소개되어 있지. > >마땅한 Dry Etching Condition 이나 Gas등에 대해 소개되어 있지 > >않습니다. > >그래서 여기 Site에 문의하게 되었습니다. > >HfAlO에 대한 Dry Etching 자료나 논문이 있으시면 부탁드립니다. > >감사합니다. >
    답변수정
    안녕하세요 아래 사이트에 확인해뵈고, 첨부 파일이 도움이 될런지 모르겠습니다. http://www.freepatentsonline.com/20060175289.html 라용춘 >저희가 HfAlO 막에 대해 Dry Etching을 할려고 합니다. > >근데 막상 논문이나 검색결과 High k 물질로만 소개되어 있지. > >마땅한 Dry Etching Condition 이나 Gas등에 대해 소개되어 있지 > >않습니다. > >그래서 여기 Site에 문의하게 되었습니다. > >HfAlO에 대한 Dry Etching 자료나 논문이 있으시면 부탁드립니다. > >감사합니다. >
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