2007-03-26
org.kosen.entty.User@7277bf50
김양수(dlinka)
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1mTorr와 200mTorr 상태의 챔버가 중간 door로 단속되어 있읍니다.
이때 door가 open되면 200mTorr의 챔버안에 있는 기체가 1mTorr의 압력을
가진 챔버로 이동할 것입니다. 이때 생성되는 기체의 유속을 베르누이식으로 정의하는 것이 가능한지요?
- vacuum
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답변 1
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답변
김진철님의 답변
2007-03-28- 0
>1mTorr와 200mTorr 상태의 챔버가 중간 door로 단속되어 있읍니다. >이때 door가 open되면 200mTorr의 챔버안에 있는 기체가 1mTorr의 압력을 >가진 챔버로 이동할 것입니다. 이때 생성되는 기체의 유속을 베르누이식으로 정의하는 것이 가능한지요? 기체의 흐름은 대기 중에 압력은 점성류 즉, Q=AV 로 가늠 되며 진공 중에는 중간류와 분자류로 나누어 집니다. 분자류는 분자의 자유행로로 움직이므로 펌프도 터보 분자 펌프, 크라이오 ( 극저온 흡착)펌프, 흡착식 펌프 등으로 진공도를 유지 합니다. 이런 분자류와 점성류의 중간에 위치한 흐름을 중간류(intermediate flow)라 일컫습니다. 이때는 관로경과 길이등 즉,conductance가 흐름에 주요한 변수가 되며 유속의 단위는 torr. L / sec 로 표시하며 점성류에 적용되는 베르누이 정리는 불가능 합니다. 흐름에 특성을 Knudsen 수로 게산 되는데 분자의 평균자유 행정의 비를 나타냅니다. 참고로 한국 진공 학회나 진공 기술쎈타(한국 표준 연구소 내)web 에 자세히 많은 자료가 있습니다.