2007-03-31
org.kosen.entty.User@1821a62a
양재훈(yjhy)
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반도체 공정용 chamber의 volume은 CAD(설계 프로그램)를 사용한 volume과 chamber에 gas를 넣어
측정한 방법 중 어느 방법이 더 정확한 것인가요??
또한 CAD program에서는 chamber volume을 어떤 방법으로 측정하는 것인지 궁금합니다..
답변 부탁드립니다...
- chamber
- volume
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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