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지식나눔

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PDMS를 쉽게 떼어 내는 방법???

2007-04-08 org.kosen.entty.User@ec27a5d 김동섭(j7230203)
  • 3
PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. 건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. 진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ 어떻게 하면 잘 떨어질까요? 고수님들 부탁 드립니다.
  • PDMS
  • Al
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답변 3
  • 답변

    강병언님의 답변

    2007-04-11
    • 0
    >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다. Al의 역할이 무엇인지가 다소 모호한데... PDMS 코팅 후 PDMS막의 분리를 위한 substrate의 용도라면, Teflon 등을 사용하면 될 터이지만, 그런 의도로 쓰신것은 아닌 듯 싶군요. Al의 경우 high energy surface를 가지고 있기 때문에, low surface energy를 가지는 유기 고분자 또는 PDMS같은 물질의 용액은 자발적으로 wetting이 될 것으로 보입니다. 그렇게 형성된 PDMS 막은 non-polar하기 때문에 polar한 용액, 예를들어 물에 담가두게되면, adherend와 피착제 사이의 계면으로 물이 침투하게 되어 분리되는 방법을 쓸 수 있을 것입니다. Al의 표면을 surface energy가 낮은 component 등으로 미리 blocking을 한 후에 PDMS를 처리하는 것도 한 방법이겠지만, 애시당초 Teflon sub.을 쓰는 것을 택하는 것과 크데 다를 것이 없어보이기는 합니다. 실험에 대해 보다 명확히 서술되어진다면, 원하시는 목적에 보다 부합되는 의견들이 나올 것 같습니다.
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    >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다. Al의 역할이 무엇인지가 다소 모호한데... PDMS 코팅 후 PDMS막의 분리를 위한 substrate의 용도라면, Teflon 등을 사용하면 될 터이지만, 그런 의도로 쓰신것은 아닌 듯 싶군요. Al의 경우 high energy surface를 가지고 있기 때문에, low surface energy를 가지는 유기 고분자 또는 PDMS같은 물질의 용액은 자발적으로 wetting이 될 것으로 보입니다. 그렇게 형성된 PDMS 막은 non-polar하기 때문에 polar한 용액, 예를들어 물에 담가두게되면, adherend와 피착제 사이의 계면으로 물이 침투하게 되어 분리되는 방법을 쓸 수 있을 것입니다. Al의 표면을 surface energy가 낮은 component 등으로 미리 blocking을 한 후에 PDMS를 처리하는 것도 한 방법이겠지만, 애시당초 Teflon sub.을 쓰는 것을 택하는 것과 크데 다를 것이 없어보이기는 합니다. 실험에 대해 보다 명확히 서술되어진다면, 원하시는 목적에 보다 부합되는 의견들이 나올 것 같습니다.
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  • 답변

    정옥찬님의 답변

    2007-04-13
    • 0
    >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다. 흠.. 1. 막이 얇고 넓다면 (두꺼우면 그다지...하지만, 천천히...호흡 조절 하시면서..) 경험에 의한 좀 손기술이 필요합니다. 예를들어 4인치 웨이퍼 전면에 한 50 um 정도라면... 웨이퍼 전체의 가장자리부터 천천히 안쪽으로 수 밀리미터씩 하세요. 1분이상 안걸립니다. 2. PDMS의 조성. curing agent를 많으면 좀 더 빨리 경화하고, 쉽게 띠어낼 수 있어요. 20:1 이하로 떨어지게 되면 그야말로 base ploymer가 경화가 더디거나 대부분 잘 벗겨지지가 않지요. 3. 물 혹은 알코올? 아세톤? 이런거 쓰지 마시길..물 먹은 하마도 아니고, 그런 PDMS로 뭘할수 있겠습니까? 나중에라도 웬만하면 그런거 안쓰는 공정으로 가는게 좋습니다. 4. 온도. 경험에 의하면 핫플레이트 위에서 5-10분 정도면 경화가 되는데, 바로 벗겨내세요... 5. 패턴 ICP 혹은 RIE로 식각된 표면은 거칠기 때문에.. 혹은 기타 다른 이유로 실리콘 표면을 소수성 처리를 하게 되는데, 간단하게 방수용(?) 스프레이 같은 것 써도 됩니다. 혹 알루미늄을 쓰게 되면...어떤 경우에는 PDMS하고 같이 벗겨지거나, 그렇지 않으면 PDMS만 벗겨질 것입니다. 적절히 노하우를 익히시면 그리고 손기술을 익히시면 나중에 금속 패턴도 제한적으로 가능할 것입니다. 6. 기판 - 단순 PDMS 막이 필요할 경우 실리콘을 쓸 경우에는 폴리싱된 면을 쓰지 않아도 될 경우에는 주변에 뒹글어 다니는 실리콘의 폴리싱 되지 않은 면도 좋구요.. 그리고 페트리디쉬를 사용해도 좋고,...이경우에는 75도 이, 한 100도 에서는 페트리디쉬를 녹아흐르는 경우 발생하므로.. 75도 정도에서 한 10분 soft 하게 경화합니다. 이러면 구멍을 내거나, 그럴 경우에 사용가능. 7. 기타 등등의 것들이 있겠네요.. 조급하게 생각하지 마시구요.. 행운이 함께 하시길..
    답변수정
    >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다. 흠.. 1. 막이 얇고 넓다면 (두꺼우면 그다지...하지만, 천천히...호흡 조절 하시면서..) 경험에 의한 좀 손기술이 필요합니다. 예를들어 4인치 웨이퍼 전면에 한 50 um 정도라면... 웨이퍼 전체의 가장자리부터 천천히 안쪽으로 수 밀리미터씩 하세요. 1분이상 안걸립니다. 2. PDMS의 조성. curing agent를 많으면 좀 더 빨리 경화하고, 쉽게 띠어낼 수 있어요. 20:1 이하로 떨어지게 되면 그야말로 base ploymer가 경화가 더디거나 대부분 잘 벗겨지지가 않지요. 3. 물 혹은 알코올? 아세톤? 이런거 쓰지 마시길..물 먹은 하마도 아니고, 그런 PDMS로 뭘할수 있겠습니까? 나중에라도 웬만하면 그런거 안쓰는 공정으로 가는게 좋습니다. 4. 온도. 경험에 의하면 핫플레이트 위에서 5-10분 정도면 경화가 되는데, 바로 벗겨내세요... 5. 패턴 ICP 혹은 RIE로 식각된 표면은 거칠기 때문에.. 혹은 기타 다른 이유로 실리콘 표면을 소수성 처리를 하게 되는데, 간단하게 방수용(?) 스프레이 같은 것 써도 됩니다. 혹 알루미늄을 쓰게 되면...어떤 경우에는 PDMS하고 같이 벗겨지거나, 그렇지 않으면 PDMS만 벗겨질 것입니다. 적절히 노하우를 익히시면 그리고 손기술을 익히시면 나중에 금속 패턴도 제한적으로 가능할 것입니다. 6. 기판 - 단순 PDMS 막이 필요할 경우 실리콘을 쓸 경우에는 폴리싱된 면을 쓰지 않아도 될 경우에는 주변에 뒹글어 다니는 실리콘의 폴리싱 되지 않은 면도 좋구요.. 그리고 페트리디쉬를 사용해도 좋고,...이경우에는 75도 이, 한 100도 에서는 페트리디쉬를 녹아흐르는 경우 발생하므로.. 75도 정도에서 한 10분 soft 하게 경화합니다. 이러면 구멍을 내거나, 그럴 경우에 사용가능. 7. 기타 등등의 것들이 있겠네요.. 조급하게 생각하지 마시구요.. 행운이 함께 하시길..
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    박정호님의 답변

    2007-04-23
    • 0
    앞서 여러분이 답변을 잘 해주셨는데.. 두분의 접근 방법이 모두 적절하다고 생각합니다만.. 좀더 실험적인 측면에서 한말씀 드리면 Al은 상온에서 쉽게 산화되는 금속이라 표면에 아주 얇게 산화막이 형성 되어 있을 겁니다. 하시고자하는 용도가 무엇인지 알수 는 없지만.. 이 산화막에 존재하는 -OH와 반응성이 좋은 silane 계열 특히 불소치환 된 silane으로 표면을 처리하고 PDMS를 경화시키신후 떼어 내면 쉬울겁니다. 추가로 Al 표면을 O2 plasma 처리해서 Silane의 반응성을 높여 주는 것도 필요하다면 하시면 좋을거 같구요. 처리 방법은 기존에 생각하신신대로 진공 오븐으로 하시면 될것 같구요. 혹시 Teflon AF 같은걸 쓰시면 희석 시켜 스핀코팅 후 PDMS replication 하셔도 되는데 만일 Al의 미세 패턴을 replication 하시는 거라면 전자가 좋아 보이네요. 도움이 되셨으면 합니다. >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다.
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    앞서 여러분이 답변을 잘 해주셨는데.. 두분의 접근 방법이 모두 적절하다고 생각합니다만.. 좀더 실험적인 측면에서 한말씀 드리면 Al은 상온에서 쉽게 산화되는 금속이라 표면에 아주 얇게 산화막이 형성 되어 있을 겁니다. 하시고자하는 용도가 무엇인지 알수 는 없지만.. 이 산화막에 존재하는 -OH와 반응성이 좋은 silane 계열 특히 불소치환 된 silane으로 표면을 처리하고 PDMS를 경화시키신후 떼어 내면 쉬울겁니다. 추가로 Al 표면을 O2 plasma 처리해서 Silane의 반응성을 높여 주는 것도 필요하다면 하시면 좋을거 같구요. 처리 방법은 기존에 생각하신신대로 진공 오븐으로 하시면 될것 같구요. 혹시 Teflon AF 같은걸 쓰시면 희석 시켜 스핀코팅 후 PDMS replication 하셔도 되는데 만일 Al의 미세 패턴을 replication 하시는 거라면 전자가 좋아 보이네요. 도움이 되셨으면 합니다. >PDMS를 쉽게 제거 하는 방법이 있을까요? > >Al위에 PDMS를 붓고 건조후 떼어 낼려고 하는데 잘 안떼어 지내요. > >건조후 알코올, 에탄올에 담근 후 떼어내도 잘 안떨어지고 PDMS가 째지기만 합니다. > >진공 오븐에서 Silane 처리 한 후 PDMS를 부어 건조 하면 잘떨어 진다고도 하고 뜨거운 물에 담구어 둔 후 떼어내면 잘 떨어진다고도 하는데.......ㅡㅡ > >어떻게 하면 잘 떨어질까요? > >고수님들 부탁 드립니다.
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