2007-04-16
org.kosen.entty.User@6e2caed7
정종국(zzang036)
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반도체 유전체 성막으로 사용되고 있는 S/D SiNx 관련 자료를 얻고 싶습니다.
현재 삼성,LPL TFT관련 SiNx 관련 하여 사용되고 있는 것으로 알고 있습니다만, 어떻해 사용되는지 알고 싶습니다.
- SiNx
- ZnO
- Insulator
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답변 1
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답변
김재현님의 답변
2007-04-19- 0
>반도체 유전체 성막으로 사용되고 있는 S/D SiNx 관련 자료를 얻고 싶습니다. > >현재 삼성,LPL TFT관련 SiNx 관련 하여 사용되고 있는 것으로 알고 있습니다만, 어떻해 사용되는지 알고 싶습니다. > >제가 TFT-LCD에 종사한 관계로 TFT LCD 부분에 국한해서 말씀드리겠습니다. 일반적으로 TFT-LCD에서 SiNx는 게이트위에 게이트 절연막으로 사용되고 있으며 TFT-LCD에서 하판 TFT전면에 증착이 됩니다. 게이트 절연막은 TFT에서 Capacitor로도 이용되므로 모델에 따라서 두께는 2000 ~ 3000 A 정도입니다. > >