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지식나눔

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유전체[SiNx,ZnO] 성막 관련 자료 부탁드립니다.

2007-04-16 org.kosen.entty.User@7e19a03e 정종국(zzang036)
  • 1
반도체 유전체 성막으로 사용되고 있는 S/D SiNx 관련 자료를 얻고 싶습니다. 현재 삼성,LPL TFT관련 SiNx 관련 하여 사용되고 있는 것으로 알고 있습니다만, 어떻해 사용되는지 알고 싶습니다.
  • SiNx
  • ZnO
  • Insulator
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답변 1
  • 답변

    김재현님의 답변

    2007-04-19
    • 0
    >반도체 유전체 성막으로 사용되고 있는 S/D SiNx 관련 자료를 얻고 싶습니다. > >현재 삼성,LPL TFT관련 SiNx 관련 하여 사용되고 있는 것으로 알고 있습니다만, 어떻해 사용되는지 알고 싶습니다. > >제가 TFT-LCD에 종사한 관계로 TFT LCD 부분에 국한해서 말씀드리겠습니다. 일반적으로 TFT-LCD에서 SiNx는 게이트위에 게이트 절연막으로 사용되고 있으며 TFT-LCD에서 하판 TFT전면에 증착이 됩니다. 게이트 절연막은 TFT에서 Capacitor로도 이용되므로 모델에 따라서 두께는 2000 ~ 3000 A 정도입니다. > >
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    >반도체 유전체 성막으로 사용되고 있는 S/D SiNx 관련 자료를 얻고 싶습니다. > >현재 삼성,LPL TFT관련 SiNx 관련 하여 사용되고 있는 것으로 알고 있습니다만, 어떻해 사용되는지 알고 싶습니다. > >제가 TFT-LCD에 종사한 관계로 TFT LCD 부분에 국한해서 말씀드리겠습니다. 일반적으로 TFT-LCD에서 SiNx는 게이트위에 게이트 절연막으로 사용되고 있으며 TFT-LCD에서 하판 TFT전면에 증착이 됩니다. 게이트 절연막은 TFT에서 Capacitor로도 이용되므로 모델에 따라서 두께는 2000 ~ 3000 A 정도입니다. > >
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