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지식나눔

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박막 특성

2007-04-19 org.kosen.entty.User@67480e2b 양철규(sprtmWKd)
  • 1
저희가 박막 특성연구를 하고 있는데. 박막을 열처리 즉, Furnace, RTA, Hot plate을 이용하여 열처리 함에 따라 막의 특성이 변하는 것을 측정하였습니다. 특성이라 함은 기본적으로 투과율, 및 반사율을 측정하였으며, 이에 따른 SPM, SC-1 공정을 진행 해 보았습니다. 그런데, 실제로 열처리 후 막이 SPM, SC-1에 열처리 전과 비교하여 우수한 결과(투과율 측면-변화 없음)를 보이는데 이와 관련 논문이나 자료가 있는지요?
  • Thin Film
  • Heat Treatment
  • Material
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답변 1
  • 답변

    유성원님의 답변

    2007-04-29
    • 0
    >저희가 박막 특성연구를 하고 있는데. > >박막을 열처리 즉, Furnace, RTA, Hot plate을 이용하여 열처리 함에 따라 막의 특성이 변하는 것을 측정하였습니다. > >특성이라 함은 기본적으로 투과율, 및 반사율을 측정하였으며, 이에 따른 SPM, SC-1 공정을 진행 해 보았습니다. > >그런데, 실제로 열처리 후 막이 SPM, SC-1에 열처리 전과 비교하여 우수한 결과(투과율 측면-변화 없음)를 보이는데 이와 관련 논문이나 자료가 있는지요? > > -------------------------------------------------------------------------------------- 어떠한 재료를 사용하시는지 모르지만, 박막의특성은 여러 가지의 공정에 따라 그 특성이 달라지는 것을 알수가 있죠.. 그런데..열처리후에 SPM의 특성이 열처리후가 좋다고하니..공정 조건이 어떤지 모르겠네요.. 공정조건을 알려주시면..그런자료 찾아서 올려 드릴께요~~
    답변수정
    >저희가 박막 특성연구를 하고 있는데. > >박막을 열처리 즉, Furnace, RTA, Hot plate을 이용하여 열처리 함에 따라 막의 특성이 변하는 것을 측정하였습니다. > >특성이라 함은 기본적으로 투과율, 및 반사율을 측정하였으며, 이에 따른 SPM, SC-1 공정을 진행 해 보았습니다. > >그런데, 실제로 열처리 후 막이 SPM, SC-1에 열처리 전과 비교하여 우수한 결과(투과율 측면-변화 없음)를 보이는데 이와 관련 논문이나 자료가 있는지요? > > -------------------------------------------------------------------------------------- 어떠한 재료를 사용하시는지 모르지만, 박막의특성은 여러 가지의 공정에 따라 그 특성이 달라지는 것을 알수가 있죠.. 그런데..열처리후에 SPM의 특성이 열처리후가 좋다고하니..공정 조건이 어떤지 모르겠네요.. 공정조건을 알려주시면..그런자료 찾아서 올려 드릴께요~~
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