2007-04-21
org.kosen.entty.User@1b7d2662
심기범(skburm)
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로디움 박막(10~15 미크론)을 몰리브데늄에 코팅 하려고 합니다.
전혀 자료가 없어서 애로 사항이 많습니다.
도금이나 진공코팅 장비에서 작업하는 방법 지도 바랍니다.
현제 Thermal Evaporator는 있읍니다.
밀착도 중요하다고 하는데 프라즈마 크리닝이 필요 한지도 궁금합니다.
증발 소스는 보트,코일중 어떤게 쉬운지?
두께는 크리스탈 모니터가 있어서 대충 알수 있습니다.(셔터가 없어서
대충)
Kiver Shim...
- Rhodium coating
- Thin film layer
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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