2007-04-29
org.kosen.entty.User@3d686459
정상배(ggangs99)
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현재 arc ion plating를 이용하여
TiAlN을 코팅하고 있는데
TiAlN 고유의 색인 검정색이 나오지 않네요
아무리 공정조건을 바꿔봐도
어두운 황토색에서 어두운 보라색 정도 밖에 나오지가 않습니다.
AIP를 사용하여 TiAlN Coating 해보신 분들의 많은 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
- TiAlN
- arc ion plating
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김쌍조님의 답변
2007-07-07- 0
>현재 arc ion plating를 이용하여 > >TiAlN을 코팅하고 있는데 > >TiAlN 고유의 색인 검정색이 나오지 않네요 > >아무리 공정조건을 바꿔봐도 >어두운 황토색에서 어두운 보라색 정도 밖에 나오지가 않습니다. > >AIP를 사용하여 TiAlN Coating 해보신 분들의 많은 답변 부탁드립니다. > >감사합니다. AIP로 TiAl합금을 증착할 경우 기판의 온도 및 bias인가 전압이 매우 중요합니다. 황토색이 나타난다면 질소분압이 오히려 높은 것이 아닌가 싶습니다만 보라색이 나온다면 증착 두께가 낮은 것으로 생각됩니다. 더 정확한 공정 조건을 알면 답변이 쉬울듯 싶습니다.