2007-05-07
org.kosen.entty.User@3378e4e8
양재훈(yjhy)
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QCM에 대한 질문입니다...
어떤 물질의 증착속도 및 두께 등을 측정할 때 QCM을 사용하는데 이 때 monitor에서 (-)값 즉, 음
의 값이 나타나는 것은 어떤 뜻인지 알고 싶습니다..
단순한 오차여서 무시해도 되는 것인지 아니면 (-)값이 어떤 의미를 나타내는지에 대해서 알려주
시면 감사하겠습니다...
그리고 증착시킬 물질을 결정한 후 Z-factor를 입력하는데 이 Z-factor에 대한 설명도 부탁드립니
다...
* 현재 보유하고 있는 제품은 Sycon Instruments 사의 STM-100/MF 입니다...
- QCM
- minus
- z-factor
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
송성훈님의 답변
2007-05-08- 0
> >QCM에 대한 질문입니다... > >어떤 물질의 증착속도 및 두께 등을 측정할 때 QCM을 사용하는데 이 때 monitor에서 (-)값 즉, 음의 값이 나타나는 것은 어떤 뜻인지 알고 싶습니다.. > >단순한 오차여서 무시해도 되는 것인지 아니면 (-)값이 어떤 의미를 나타내는지에 대해서 알려주 > >시면 감사하겠습니다... 증착 두께에서 '_' 값이 나왔다는것은 최초 증착을 위한 Setting 후 초기 값을 '0'로 조정을 하지 않으셔서 그런게아닌가 생각됩니다. 제가 사용했던 QCM-917 (SEIKO EG&G)의 경우 증착된 값이 Frequency로 나타납니다. 최초 9MHz QCM에서 그 값을 그대로 읽어서 증착량 많큼 Frequency가 감소될때는 아무문제가 없지만, Δ값(변화량)을 Display하게 세팅했을경우는 초기화 여부에 따라 '+' 값이 나오기도 합니다. 따라서 모든 세팅을 완료하시고 증착시작전에 'Zero'버튼으로 초기화해야하는것이 아닌지 한번 더 확인해보시기 바랍니다. > >그리고 증착시킬 물질을 결정한 후 Z-factor를 입력하는데 이 Z-factor에 대한 설명도 부탁드립니다... Z-Factor는 증착물질의 밀도와 Shear Modules를 이용한 환산값입니다. 첨부된 메뉴얼의 4-2섹션 & 표 4.3을 보시면 각 물질별 Z-factor값이 나와있습니다. 물질을 증착시 QCM은 공진주파수의 변화를 계산식에의해 단위 중량으로 환산을하게됩니다. (Sauebrey Equ. Or Kanazawa Equ. 참조) (9MH QCM의 경우 1Hz= 약 1ng) 그래서 일반적인 QCM장비는 공진주파수(Hz)로 값을 나타내지만, 귀하가 사용하시는 장비는 이것을 증착두께로 다시 환산한 것이므로 환산을 위해서는 Quartz의 밀도 & Shear Modules와 증착 대상물질의 밀도 & Shear Modules의 값을 이용한 Z-Factor를 넣어야만 정확한 증착두께를 계산할 수 있을것으로 생각됩니다. 자세한것은 메뉴얼을 참조하시기 바랍니다. 도움되시길 빕니다. >* 현재 보유하고 있는 제품은 Sycon Instruments 사의 STM-100/MF 입니다...