2007-06-01
org.kosen.entty.User@50662231
강주현(loverduck)
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다름이 아니오라
제가 두 가지 박막을 올려서 실험중에 있습니다.
하나는 MoSi이고 또다른 하나는 MoTaSi입니다.
박막을 증착시킬때의 결정상은 비정질상태입니다.
기본적인 AFM, XRD, XPS 등은 분석이 진행했구요 뚜렷한 차이를 찾지 못했습니다.
두 박막의 가장 큰 차이는 화학약품에 대한 신뢰성 부분입니다.
MoTaSi가 MoSi에 비해 더욱 우수한데
그 이유를 알고 싶습니다.
원인을 찾기 위해서 어떤 분석이 필요한지
어떤 분석을 진행하면 원인을 찾기가 쉬운지 그 분석을 통해 무엇을 얻을 수 있는지
알고 싶습니다.
정말 저한테는 중요한 문제라
꼭 조언 부탁드리겠습니다.
- thin film
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2007-06-01- 0
박막이기 때문에 AFM,XRD,XPS,SEM 등에 의한 분석으로는 구별하기가 어려울 것으로 생각합니다. 다음의 2가지로 생각함이 좋을 것 같습니다. (1)Mo 는 Metallic luster이며,Si도 동일하게 Metallic luster type으 로 실제 박막coating하여 보면 결합(bonding force:van der waals)이 잘 나오지 않고 (극단적으로 마치 기름과 물과 같이) 느슨한 결합을 하고 있는 것같이 보이며,도막이 견고하지 않은 경향이 있습니다. 그러나 Ta은 malleable,ductile성질을 가지고 있어 금속간의 getting ability를 가지고 있습니다.따라서 Mo-Si간의 결합력을 강화시켜 주는 매개기능을 가지고 있으며,이러한 기능으로 금속간의 결합력을 높여주기 위하여 Ta이 많이 사용됩니다.(박막coating수행한 결과임) (2)Chemical attack: Ta은 150C이하에서는 불산을 제외하고는 거의 chemical attack을 받지 않습니다. 그러나 Mo는 상온에서 질산,농황산(hot),불소,염소,브롬에 의하여 chemical attack을 받으며,Si도 상온에서 불산,불산과 질산의 혼합 용액,molten alkali oxides에 chemical attack을 받습니다. (일부는 실제 실험을 하여 확인하였음) 이상으로 Mo-Ta-Si박막의 chemical resistance가 더욱 높은 것으로 결론 지을 수있습니다. 조금이라도 도움이 되기를 바랍니다.