2007-06-04
org.kosen.entty.User@75158f93
장재원(thinsmile)
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안녕하세요
새로운 포토레시스터 물질을 연구 중인 연구원입니다. 포토마스크 제작과 관련하여 궁금한 점이 있어 메일드리게 되었습니다. 크롬 외에 금을 포토마스크의 증착물질로 사용가능한지요. 또한 증착되는 금속을 가능한 얇게 올려서 사용하려 하는데, 포토마스크로 제대로 작동하는 크롬의 최소 두께가 얼마나 되야하는지 궁금합니다. 예를 들어 50 - 100 nm 두께로도 포토마스크로 활용가능한지 궁금합니다. 답해주시면 대단히 감사드리겠습니다
- photomask
- Photoresist
- Cr
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
김기범님의 답변
2007-12-12- 0
>안녕하세요 > >새로운 포토레시스터 물질을 연구 중인 연구원입니다. 포토마스크 제작과 관련하여 궁금한 점이 있어 메일드리게 되었습니다. 크롬 외에 금을 포토마스크의 증착물질로 사용가능한지요. 또한 증착되는 금속을 가능한 얇게 올려서 사용하려 하는데, 포토마스크로 제대로 작동하는 크롬의 최소 두께가 얼마나 되야하는지 궁금합니다. 예를 들어 50 - 100 nm 두께로도 포토마스크로 활용가능한지 궁금합니다. 답해주시면 대단히 감사드리겠습니다 > 결국은 사용하시는 광원의 세기와 그 파장대역에 있어서의 Au박막의 자외선 투과율과의 상관관계 아니겠습니까? 그것만 clear되면 문제는 없다고 생각됩니다만 예상되는 문제점들은 다음과 같습니다. - Au는 adhesion이 아주 않좋습니다. 아마도 쿼츠기판이나 자외선에 대해 투명한 기판위에다가 성막을 하실텐데 충분히 두껍에 올려도 Au가 박리되지 않을런지요? Cr 이나 Ti의 glue layer를 얇게 올리고 Au를 올리는 방법도 있겠습니다만 그럴 수 있다면 그냥 Cr으로 하셨겠지요... - 금은 무르기때문에 포토마스크 등으로 쓰시면 스크래치가 나기 쉽습니다. 이 점은 어떠신지요? 별 도움 안되는 이야기만 풀어놓고 갑니다. 그럼 이만,..,