2007-06-12
org.kosen.entty.User@54f401e4
김남군(kng3402)
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예를 들어 기존 Ar 가스에 쓰이던
MFC를 다른 가스를 주입하는데 사용려고하는데
기본적으로는 유량과 가스의 입자량 차이때문에 안된다고들 하는데
새로사용하려는 가스의 MFC를 꼭 구입해야하는지...
기존에 잘쓰지않는 가스의 MFC를 다른가스의 MFC로 사용할려고 하는데
어찌해야될지 전문가님들에 도움이 필요합니다.
- MFC
- GAS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
안길홍님의 답변
2007-06-12- 0
hvac님과 afkll님과 kshgen님의 답변이 정확합니다. 가장 정확한 방법은 제조회사에 문의하는 것이며,Argon에만 fix된 MFC가 아니라면 conversion할 수 있습니다. afkll님이 올려주신 conversion factor와 아래 참고파일 gas conversion chart를 적용하면 정확히 adjust할 수 있습니다. (pdf. file이 3건이상 올라가지 않아서 연속하여 추가로 file3건을 올립니다) -
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강경태님의 답변
2007-06-13- 0
기체 변경시 조심할 것은 부식성 기체를 사용하는 경우입니다. 부식성 기체용 MFC는 내부에 재질 등이 달라서 일반 MFC로 대체해서 사용하는 경우에 내구성에 문제가 있습니다. 원리적으로 correction factor는 기준 기체와의 상대비인데, 밀도와 정압비열의 곱한 값에 비례하는 것으로 알려져 있습니다. 가스에 >예를 들어 기존 Ar 가스에 쓰이던 > >MFC를 다른 가스를 주입하는데 사용려고하는데 > >기본적으로는 유량과 가스의 입자량 차이때문에 안된다고들 하는데 > >새로사용하려는 가스의 MFC를 꼭 구입해야하는지... > >기존에 잘쓰지않는 가스의 MFC를 다른가스의 MFC로 사용할려고 하는데 > >어찌해야될지 전문가님들에 도움이 필요합니다. > > -
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김성호님의 답변
2007-06-14- 0
흔히들 많은 사람들이 오해하는 것이 질문자의 물음처럼 사용하고자하는 가스가 바뀌면 MFC도 바꿔서 사용해야한다고 생각하는 것인데.. 사실 전혀 상관이없습니다. 알곤용 MFC에 질소나 수소 혹은 이산화탄소를 사용해도 MFC자체에는 전혀 무리를 주지않습니다. 다만 기체의 분자량이 다들 다르기 때문에 보정을 해줘서 사용해야하는 번거로움이 존재할 뿐입니다. 다시말씀드리면 MFC의 용량이 500 ccm이고 그 용도가 알곤이라면 이 MFC는 보정하지않고 사용해도 실제 흐르는 유량과 세팅해주는 값과의 오차가 별로 없습니다. 하지만 가스를 바꿀 경우에는 실제로 100 ccm으로 세팅해주면 알곤일때는 100 ccm이 흐르겠지만 질소일경우에는 110ccm이 흐를수도 있다는 것입니다. 그러나 보정을 해서 사용하면 실질적으로 아무런 문제가 없게됩니다. 또한 일산화탄소나 황을 포함하는 기체를 사용하는경우는 통상적으로 그 용도에 맞는 MFC를 사용하는 게 좋습니다. 하지만 다른 MFC를 써도 별 무리는 없습니다. 충분한 답변이 되었으리라 생각합니다. >예를 들어 기존 Ar 가스에 쓰이던 > >MFC를 다른 가스를 주입하는데 사용려고하는데 > >기본적으로는 유량과 가스의 입자량 차이때문에 안된다고들 하는데 > >새로사용하려는 가스의 MFC를 꼭 구입해야하는지... > >기존에 잘쓰지않는 가스의 MFC를 다른가스의 MFC로 사용할려고 하는데 > >어찌해야될지 전문가님들에 도움이 필요합니다. > > -
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안길홍님의 답변
2007-06-14- 0
conversion chart의 추가분 -
답변
조주웅님의 답변
2007-06-14- 0
>예를 들어 기존 Ar 가스에 쓰이던 > >MFC를 다른 가스를 주입하는데 사용려고하는데 > >기본적으로는 유량과 가스의 입자량 차이때문에 안된다고들 하는데 > >새로사용하려는 가스의 MFC를 꼭 구입해야하는지... > >기존에 잘쓰지않는 가스의 MFC를 다른가스의 MFC로 사용할려고 하는데 > >어찌해야될지 전문가님들에 도움이 필요합니다. > > 사용하는 기체의 부식성 정보와 밀도비를 고려하여 사용이 가능합니다. 사용하는 MFC 제품 회사에 기체 부식성 여부와 Gas Conversion Factor를 문의하시면 좋은 결과가 있을 것으로 생각됩니다. 첨부파일은 Factors사의 Gas Conversion Factor입니다. 참조하세요..