2007-06-12
org.kosen.entty.User@7492521f
양철규(sprtmWKd)
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저희가 HfAlO 막에 대한 Annealing을 실시한 결과 여러 논문과 동일하게
700도 부터 (Al 조성비에 따라 다르지만) 결정성이 보이기 시작했습니다.
그래서, XRD 및 TEM등을 분석하였고, 그것이 HfO 결정 Peak임을 찾아낼
수 있었습니다.
그런데, 결정성이 왜 발생하는지?
즉, HfO 결정이 발생하기 위한 Factor 즉 열이 어떤 역활을 하여 결정화
가 되는지에 대한 자료가 있으면 부탁드립니다.
그리고, 박막이 비정질에서 결정화로 변화함에 따른 투과율 자료가
있으면 부탁드립니다.
- Crystalization
- Annealing
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
손삼익님의 답변
2007-06-14- 0
열처리에 따라 결정화가 되는 것은 재료가 그런 특성을 보이죠. 온도 증가 atomic movement-> equilibrium 상태 도달. AlHfO에서 HfO 결정만 보인다면 두 물질의 상평형도를 보고 안정상이 무엇이지 확인 할 필요가 있겠습니다.