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지식나눔

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PDMS 녹이기

2007-06-20 org.kosen.entty.User@262536eb 서영호(yhseo94)
  • 2
PDMS를 실리콘기판에 붙혔는데, PDMS를 완전히 녹여서 제거하고자 합니다. 어떤 약품으로 녹이는게 가능한가요? 부탁드립니다.
  • PDMS
  • solvent
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2007-06-22
    • 0

    첨부파일

    PDMS가 붙어 있는 기판을 25C인 Diisopropylamine에 1일 담구어 두면 PDMS가 swelling되어 떨어져 나옵니다. 그후 기판위에 남아있는 잔류물을 Diisopropylamine+ Toluene 또는 Ethyl acetate 또는 Acetone(구하기 쉬운 용제로 하면됨)을 혼합하여 조심스럽게 기판을 딱아내면 됩니다. 유첨파일:PDMS의 각종 용제에 대한 solubility
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    PDMS가 붙어 있는 기판을 25C인 Diisopropylamine에 1일 담구어 두면 PDMS가 swelling되어 떨어져 나옵니다. 그후 기판위에 남아있는 잔류물을 Diisopropylamine+ Toluene 또는 Ethyl acetate 또는 Acetone(구하기 쉬운 용제로 하면됨)을 혼합하여 조심스럽게 기판을 딱아내면 됩니다. 유첨파일:PDMS의 각종 용제에 대한 solubility
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  • 답변

    안길홍님의 답변

    2007-06-22
    • 0
    PDMS를 제거하기 위하여서는 제거제가 PDMS chain구조내로 침투하여 swelling시켜야 만이 가능한데, 이러한 물질 중에서 가장 효과적인 제거제는 silicon판에 영향이 없는 것으로써 Diisopropylamine이 있습니다. 그 다음으로 효과적인 제거제는 Chloroform , Ether 및 THF(tetrahydrofuran)이 있습니다. 귀하가 구하기 용이한 제품으로 사용하시면 되겠습니다.
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    PDMS를 제거하기 위하여서는 제거제가 PDMS chain구조내로 침투하여 swelling시켜야 만이 가능한데, 이러한 물질 중에서 가장 효과적인 제거제는 silicon판에 영향이 없는 것으로써 Diisopropylamine이 있습니다. 그 다음으로 효과적인 제거제는 Chloroform , Ether 및 THF(tetrahydrofuran)이 있습니다. 귀하가 구하기 용이한 제품으로 사용하시면 되겠습니다.
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