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지식나눔

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spreading resistance에 관해 질문드립니다.

2007-07-18 org.kosen.entty.User@5a15b945 송진오(violetcoff)
  • 1
Auto spreading resistance probe에 관해 알고 싶습니다. resistivity라던가 단순히 4point probe를 이용한 sheet resistance는 알겠습니다. 그런데 spreading resistance는 구체적으로 무엇을 일컫는 말인지 궁금합니다. 그리고 Auto spreading resistance probe를 통해 도핑프로파일을 알 수 있다고 들었는데 어떤원리인지 알고 싶습니다. 전문가님들의 조언을 구합니다. 제겐 큰도움이 될 것입니다. 부탁드립니다.
  • spreading resistance
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2007-07-18
    • 0
    ASRP(Automatic Spreading Resistance Probe)로써 반도체wafer의 지점별 불순물 농도 분포를 연속적으로 측정하는 설비를 말합니다. 반도체 제조시에 어떤 공정에서든 공정이 진행될 때 시작과 동시에 자동적으로 진행되어 집니다. 위의 site에 접속하시어서 software를 down받아서 어떤 기능과 어떻게 나타내어 지는지 살펴보시기 바랍니다. wafermap 2.11 software로써 60일간 freetrial입니다.불순물의 농도분포가 마치 지도에 drawing된것 같이 나타납니다.
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    ASRP(Automatic Spreading Resistance Probe)로써 반도체wafer의 지점별 불순물 농도 분포를 연속적으로 측정하는 설비를 말합니다. 반도체 제조시에 어떤 공정에서든 공정이 진행될 때 시작과 동시에 자동적으로 진행되어 집니다. 위의 site에 접속하시어서 software를 down받아서 어떤 기능과 어떻게 나타내어 지는지 살펴보시기 바랍니다. wafermap 2.11 software로써 60일간 freetrial입니다.불순물의 농도분포가 마치 지도에 drawing된것 같이 나타납니다.
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