2007-07-19
org.kosen.entty.User@14499917
송진오(violetcoff)
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spreading resistance가 resistivity나 sheet resistance와 비교해서
어떻게 다른 물리량인지 궁금합니다.
또한 이를 측정하려면 어떤 장비를 사용해야 하는지.....
전문가님들의 조언을 구합니다.
매우 높은 저항을(절연체에 가깝습니다) 갖는 박막의 비저항을 측정하고 싶습니다.
4 point probe등으로는 저항이 높아 측정이 불가능하더군요...
좋은 방법이 없을까요??
- spreading resistance
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2007-07-19- 0
ASRP는 4-point-probe로써 일반type과 유사하나 이에 따르는 software가 ASRP에 부합하여야 합니다.(software는 web상에서 freetrial로써 down받아 볼 수 있습니다) ASRP는 software에서 보듯이 Si-wafer의 dopant의 농도분포,capacitance- voltage,hall effect등을 자동으로 측정하여주는 software를 갖춘 4-point-probe라고 보시면 됩니다.(유첨자료 사진참조) 그리고 고저항은 4-point로써는 측정 불가능합니다.2-point또는 wheatstone bridge저항측정기로써 측정합니다. site를 접속하여 협의가능합니다. -
답변
김진철님의 답변
2007-07-20- 0
>spreading resistance가 resistivity나 sheet resistance와 비교해서 > >어떻게 다른 물리량인지 궁금합니다. > >또한 이를 측정하려면 어떤 장비를 사용해야 하는지..... > >전문가님들의 조언을 구합니다. > >매우 높은 저항을(절연체에 가깝습니다) 갖는 박막의 비저항을 측정하고 싶습니다. > >4 point probe등으로는 저항이 높아 측정이 불가능하더군요... > >좋은 방법이 없을까요?? 고저항 측정기로 10^7 ~ 10^16 을 측정합니다. ASTM F84, JIS H 0602 참고 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 에 RESISTIVITY METER 측정기 자료 참고 TOA ELECTRONICS LTD. SUPER MEGOHMETER SERIES 참조 www.toadp.co.jp