2007-07-21
org.kosen.entty.User@37124733
이동엽(ccaryman)
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박막의 내부 응력 측정법에서 cantilever method로 했던데...
수식이 잘 이해가 안가서...
또 다른 내부응력 계산식은 없는지..
- internal
- stress
- cantilever method
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2007-07-22- 0
학교에서의 연구,실험에 수고 많습니다. 반도체 박막의 내부응력에 관하여 근래에 많은 장비들이 속속 개발되어 각 반도체 공장의 공정에 적용되고 있습니다. 이러한 장비들은 고가 이므로 학교에서 설치하기에는 무리가 많을 것으로 생각합니다.(한 예로써 최신장비로써 x-ray에 의하여 연속 측정방법등을 적용하기도 합니다.) 박막의 응력에 관한 자료가 논문에 수록되어 있는 것을 소개하며,부산 대학교는 국회도서관의 자료 접속 및 열람에 관한 협약이 되어 있으므로 학교에서 직접 접속하여 down을 받으셔서 참조하시면 될 것같습니다.