지식나눔

웨이퍼 상의 미세 Pad 와 세라믹 상의 미세 Pad 의 Bonding 방법

Si Wafer상에 100um정도의 Pitch를 가진 80um정도의 정방형 Pad(NiCo alloy) 수만개와 Ceramic 상의 동일한 Pitch와 동일크기를 가진 Pad(NiCo Alloy)를 한꺼번에 견고한 Bonding를 할 수 있는 방안이 있으면 소개해 주시면 감사하겠습니다. 중간에 다른 금속을 사용하여도 좋겠습니다. 만일 열접합이면 세라믹과 웨이퍼의 열팽창계수가 달라 이를 어떻게 Control 할 수 있을까에 대해서도 고수님들의 고언 부탁드립니다.
  • Bonding
  • Fine Pitch
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