2007-08-01
org.kosen.entty.User@46da9084
정대영(solarcell)
- 1
bare 상태 Si wafer의 Effective lifetime를 측정(QSSPC사용)하고자 합니다.
표면 passivation하는 방법과 그 종류를 알고 싶습니다.
chemical solution을 이용하는 방법과 passvation 막 증착 (thermal oxidation/PE-CVD SiNx 등)하는 방법이 있는 것으로 알고 있습니다.
위 방법들의 세부적인 사항과 조건을 알고 싶습니다.
자세한 설명부탁드립니다.
- surface passivation
- solar cell
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
안길홍님의 답변
2007-08-01- 0
많이 적용하고 있는 Passivation 의 방법으로 chemical sol'을 적용하는 방법과 plasma등을 적용하여 막을 형성하는 방법에 대하여 기술 문헌을 소개합니다. Si wafer의 자원재활용에 유용하게 적용할 수 있으리라 생각합니다.