2007-09-04
org.kosen.entty.User@c49025a
이원희(love212331)
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안녕 하세요~ 석사 2학기 입니다.
ZnO에 관하여 연구를 하려는데 궁금한 점이 있어서 올립니다.
1. 분석자료 카테고리에서 자료를 볼라고 하는데
어디서 볼수있나요? 목차만 나와 있고 첨부 파일 없던데요~ ;;
제가 온지 별로 안되서 아직 초보입니다.
알려주세요~ ^^
2. ZnO 를 ALD로 Al 도핑을 하려 합니다.
Al 소스도 MO 소스를 써야 하나요? TMA 이런거요
또한 펄스를 어떻게 주어야 하는지
예를 들어 Zn 소스를 90 싸이클 돌리고 Al소스를 10싸이클 돌리는거나
Zn 소스 한번 Al 소스 한번씩 돌리거나 이런거요~ 물론 반응소스로는
H2O를 사용합니다.
ALD로 도핑 했다는것이 가장 주용한 포인트 입니다.
이것에 관련해서 아시는 분은 제가 정말 감사해 할것입니다.
이것에 관련된 논문이 있으면 올려주시고 글로 적어 주셔도
감사하겠습니다.
부탁드립니다. 좋은 하루 되세요~~^^
- ALD
- ZnO
- Al
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 7
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답변
안길홍님의 답변
2007-09-05- 0
Atomic layer deposition에 관하여 new technology로써 여러가지 연구를 할려고 하는 시점에 연구소를 이전하게되어 더 이상 자세한 사항은 진척을 보지 못하였으나,이에 대한 몇가지의 자료를 올리며, ALD에 관하여 일반적인 사항으로써 KOSEN 의 what is? NO.5088을 보시면 참고file을 올려놓았습니다. ALD는 향후 매우 유망한 technology에 해당하며,이에 대한 적용분야가 광범위 할 것으로 판단됩니다. ALD에 관하여 아무쪼록 좋은 연구 결과가 나오기를 바랍니다. -
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이원희님의 답변
2007-09-05- 0
저는 Al2O3 막을 만드려는것이 아니라 Al을 ZnO 에 도핑을 하는 방법이 궁금합니다. 그래서 AZO 필름을 만드는것이지요~ -
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안길홍님의 답변
2007-09-05- 0
Metallic oxide인 ZnO에 ALD method로 금속인 Al을 doping한다는 것은 ALD method와는 맞지 않는것 같은데요. 즉,Al을 ALD method로 하게되면 Al2O3로 되어 버리기 때문입니다. 이러한 doping은 Zinc acetate 또는 zinc acetylacetonate 수용액을 염산이나 질산으로 가수분해하고 난뒤 이에 환원제인 MeOH를 적당량 투입하고 AlCl3수용액을 doping하고자 하는 원자량에 맞게 Al을 조정하여 혼합물을 mixing하면서 환원제인 MeOH를 투입하고 광환원법에 의하여 UV를 조사하여 Zn에 doping하고, 적절한 온도로 소성하는 방법을 선택하여야 할 것같습니다. 혹시 ZnO에 ALD method로 Al을 doping한 유사한 내용을 보신적이 있는 지요? 또는 이러한 방법으로 하면 되지 않겠나 하는 idea차원에서 이야기하는 것인지요? AZO에 대한 내용은 첨부file마지막편 (ALD_ZnO)에 기록되어는 있습니다만, 이는 일반 doping방법에 의한 AZO coating을 뜻하고 있는데요. -
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이원희님의 답변
2007-09-05- 0
파일 첨부합니다. 일단 ALD로 Al을 도핑하려면 Al2O3로 해야 된다는 것에 동의 합니다. Al2O3는 insulator이기 때문에 악영향을 끼칠꺼라 생각하지만 그것이 아주 소량으로 wt 5~6% 정도 들어가면 긍정적인 역할을 하지 않을까 그런 생각을 하고 있습니다. AZO 필름을 sputter 로는 많이 만든것을 봤는데 ALD로는 거의 없어서 질문을 한것입니다. 첫번째 파일은 DEZn , TMA를 써서 도핑했다고 했는데 몬가가 의문 스럽습니다. 두번째 파일은 ALD로 도핑을 했다지만 정확한 순서가 나오질 않아서 잘 모르겠습니다. 그냥 idea 차원이 아니라 이번에 도핑을 해볼 생각이 있습니다. -
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안길홍님의 답변
2007-09-05- 0
Sputter,CVD등의 재래 방법으로는 여러가지가 가능하겠으나, ALD로써는 답이 나오지를 않는군요. 한가지 idea를 제시하여 보겠습니다. ZnO의 개시물질로써는 DEZn을 사용하고, Al을 TMA를 사용하지 않고 직접 aqueous Al colloid를 사용하여 DEZn과 혼합하여 단일 용액으로하여 DEZn을 ALD method로 하는 방법을 적용하여 deposition해 보면 어떨까요. 이건 하나의 idea입니다. -
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안길홍님의 답변
2007-09-05- 0
원료취급하는 sigma-aldrich 같은곳에서 Aluminium,standard solution(nano) 1,000ppm(aluminium표준용액)을 구입할 수 있습니다. 농도가 1,000ppm으로 정해져 있기 때문에 혼합량을 결정하는데 어려움이 없을 것입니다. 위의 site가 국내 agent입니다. (Tel)031-329-9000 (Fax)031-329-9090 -
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이원희님의 답변
2007-09-05- 0
idea 제시 감사 드립니다. H2O에 Al 수용액을 만들어서 DEZ와 반응시키라는 뜻인지요? 일단 제가 재료쟁이라서 혼합물 그런거는 잘 모르겠습니다. 그렇지만 그런 생각은 해본적이 있는데요 Al 수용액을 만들면 그것이 균일 혼합물이 되어서 같은양이 vapor가 되는지 궁금합니다. 또한 결합을 어떻게 할지도 궁금하네요 Zn-Al-OH .... 모 이런식으로 되려나요? ㅎㅎ 마지막으로 Al 콜로이드를 만들면 나중에 Al 농도 조절하기가 힘들것 같습니다. 제가 알기로는 어느정도 Al의 양이 증가하면 오히려 역효과가 난다고 알고 있습니다. 그러나 어디까지나 제가 잘 몰라서 그런거고 정말 좋은 의견 감사드립니다. 좀 더 자세한 의견을 듣고 싶네요~ 감사합니다.