2007-09-08
org.kosen.entty.User@40cbaabd
이원희(love212331)
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TMA가 펌핑 아웃되면서 파티클을 만들어서 루츠펌프 날개에
손상을 주는지 알고 싶습니다.
또한 TMA를 쓰면서 주의 할점이나 특별히 라인 디자인을
해야되는지도 알고 싶습니다.
- TMA
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답변 1
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답변
문민석님의 답변
2007-09-11- 0
>TMA가 펌핑 아웃되면서 파티클을 만들어서 루츠펌프 날개에 >손상을 주는지 알고 싶습니다. >또한 TMA를 쓰면서 주의 할점이나 특별히 라인 디자인을 >해야되는지도 알고 싶습니다. 우선 시험하게되는 소재에 따라 내용이 답글이 달라질 수 있을 것 같습니다. 진공은 작업하고자 하는 공간내의 공기분자를 제거하는 작업임으로 입자들이 이동하거나 빠져나가지 않을까 하는 생각들을 많이 하죠. 간단하게 생각하면 시료 상태가 공기를 가질만한 공간이 없다면 시료는 진공 중에 큰 문제가 되지 않습니다. 고운 가루 상태의 경우도 마찬가지 이구요. 다만 정적인 상태 기준입니다. 하지만 수분을 함유하거나 내부에 공기가 들어 있고 열려져 있는 형상이라면 진공 과정에서 공기분자들의 이동에 의해 내부는 격렬한 반응을 한 것과 같은 상태로 남겨져 있게되지요. 제 생각에는 TMA에 사용할 소재가 무엇인지에 따라서 Particle의 이동을 예상해야 할 것 같구요. 만일 이동이 예상된다면 진공에 무리가 없는 형태로의 Damper가 필요할 것 같습니다. 수고하세요.